[实用新型]阀门的故障检测装置有效

专利信息
申请号: 202123196409.X 申请日: 2021-12-17
公开(公告)号: CN216742965U 公开(公告)日: 2022-06-14
发明(设计)人: 王力;龙俊舟;金锟 申请(专利权)人: 武汉新芯集成电路制造有限公司
主分类号: F16K7/17 分类号: F16K7/17;F16K27/02;F16K31/06;F16K31/126;F16K37/00
代理公司: 上海思微知识产权代理事务所(普通合伙) 31237 代理人: 田婷
地址: 430205 湖北*** 国省代码: 湖北;42
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摘要:
搜索关键词: 阀门 故障 检测 装置
【说明书】:

实用新型提供了一种阀门的故障检测装置,所述阀门的故障检测装置包括:磁铁,设置于阀杆上;电路结构,设置于第一腔体外围的阀座上,所述电路结构包括两条滑轨、触片和电源,两条所述滑轨沿所述阀杆的轴向延伸,两条所述滑轨的同一端分别连接所述电源的正极和负极,所述触片分别与两条所述滑轨滑动连接;在关闭和打开所述阀座中的流通腔的过程中,所述阀杆带动所述磁铁运动,使得所述磁铁吸引所述触片在所述滑轨上运动,以改变所述电路结构中的电阻。本实用新型的技术方案能够快速且准确的检测出发生故障的阀门。

技术领域

本实用新型涉及半导体技术领域,特别涉及一种阀门的故障检测装置。

背景技术

在半导体制造过程中,会使用大量的阀门(例如气动阀门),但是,对于阀门的健康状态目前没有办法进行监控。

其中,阀门出现的故障包括:对于用于带动阀芯打开和关闭阀座中的流通腔的阀杆,随着使用年限的增加或者使用工况等因素的影响,阀杆和阀芯的运动会受到一定程度的影响(例如磨损),导致阀杆无法带动阀芯将流通腔关严,从而导致在关闭状态下液体仍然从流通腔的入口流向出口。

在对上述故障进行排除时,由于阀门数量太多,无法很快找到发生故障的阀门,只能通过交换测试(即将不同位置的阀门交换位置使用)等方式进行确认,耗工耗时,效率低下。

因此,如何快速且准确的检测出发生故障的阀门是目前亟需解决的问题。

实用新型内容

本实用新型的目的在于提供一种阀门的故障检测装置,能够快速且准确的检测出发生故障的阀门。

为实现上述目的,本实用新型提供了一种阀门的故障检测装置,所述阀门包括阀座、第一腔体、阀杆和阀芯,所述第一腔体设置于所述阀座上,所述阀杆轴向设置于所述第一腔体的内部,所述阀芯设置于所述阀杆的靠近所述阀座的一端,所述阀座中设置有流通腔,所述阀杆沿所述第一腔体的内部轴向运动,以带动所述阀芯关闭和打开所述流通腔;所述阀门的故障检测装置包括:

磁铁,设置于所述阀杆上;

电路结构,设置于所述第一腔体外围的所述阀座上,所述电路结构包括两条滑轨、触片和电源,两条所述滑轨沿所述阀杆的轴向延伸,两条所述滑轨的同一端分别连接所述电源的正极和负极,所述触片分别与两条所述滑轨滑动连接;在关闭和打开所述流通腔的过程中,所述阀杆带动所述磁铁运动,使得所述磁铁吸引所述触片在所述滑轨上运动,以改变所述电路结构中的电阻。

可选地,所述流通腔具有相互连通的至少两个端口。

可选地,两条所述滑轨的靠近或远离所述阀座的同一端分别连接所述电源的正极和负极。

可选地,所述电路结构还包括电流放大器,串联于所述电路结构中,以放大所述电阻变化而导致的电流变化的信号。

可选地,所述阀门的故障检测装置还包括第二腔体,设置于所述第一腔体外围的所述阀座上,所述电路结构设置于所述第二腔体中。

可选地,所述电路结构设置于一电路板上,所述电路板设置于所述第一腔体外围的所述阀座上。

可选地,所述阀座与所述第一腔体之间设置有密封圈。

可选地,所述阀芯与所述密封圈一体成型。

可选地,所述阀门还包括膜片、弹簧和限位板,所述膜片设置于所述阀杆的远离所述阀座的一端,所述限位板设置于所述第一腔体的靠近所述阀座一端的内壁上,所述弹簧套设于所述膜片和所述限位板之间的阀杆外围,且所述弹簧的两端分别与所述膜片和所述限位板连接,所述膜片与所述第一腔体的内壁之间密封,所述限位板与所述第一腔体的内壁之间密封,所述限位板与所述密封圈接触。

可选地,所述阀门为气动阀门。

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