[实用新型]一种彩色光阻剂剥离废液的分离装置

权利要求书

1.一种彩色光阻剂剥离废液的分离装置，其特征在于设有剥离废液储罐、蒸馏/减压蒸发器、冷凝器、有机溶剂储罐、反应罐、离心分离机、反硝化碳源储罐、水箱和控制系统；

剥离废液由剥离废液储罐的入口管道进入罐内并贮存，剥离废液储罐的出口通过带无泄漏泵的管道与蒸馏/减压蒸发器相连，蒸馏/减压蒸发器的顶部通过管道与冷凝器相连，冷凝器通过管道与有机溶剂储罐相连；蒸馏/减压蒸发器的底部通过带自动阀门的管道与反应罐相连，蒸馏/减压蒸发器的蒸发残液经管道排至反应罐，反应罐内设有搅拌器；反应罐的底部通过带自动阀门的管道与离心分离机相连，离心分离机通过管道与反硝化碳源储罐连接；反应罐的顶部通过带自动阀门和无泄漏泵的管道与水箱相连。

2.如权利要求1所述一种彩色光阻剂剥离废液的分离装置，其特征在于所述剥离废液储罐内设有液位传感器，用于实时将罐内液位值反馈至控制系统，根据设定高位限值产生报警信号，低位限值启动无泄漏泵停机保护功能。

3.如权利要求1所述一种彩色光阻剂剥离废液的分离装置，其特征在于所述蒸馏/减压蒸发器设有蒸汽调节阀、液位传感器，液位传感器传送罐中液位值至控制系统，控制系统控制蒸发器使蒸发残液达到初始体积的15％～50％；蒸汽调节阀用于控制蒸汽流量和残液体积；蒸馏/减压蒸发器内还设有温度传感器，用于控制蒸汽调节阀调节蒸汽输入量。

4.如权利要求1所述一种彩色光阻剂剥离废液的分离装置，其特征在于所述反应罐装有液位传感器，水箱采用高位水箱，通过反应槽液位传感器信号反馈，控制系统利用自控程序和电动阀调节高位水箱出水流量，以达到控制反应加水比例。

5.如权利要求1所述一种彩色光阻剂剥离废液的分离装置，其特征在于所述水箱装有液位传感器，用于通过控制系统自动补水。

6.如权利要求1所述一种彩色光阻剂剥离废液的分离装置，其特征在于所述控制系统分别连接并控制各液位传感器、温度传感器、无泄漏泵和自动阀门。

7.如权利要求1所述一种彩色光阻剂剥离废液的分离装置，其特征在于所述冷凝器设有冷却水进口管、冷却水出口管、冷凝液管；蒸馏/减压蒸发器排出的有机废气经管道输送至冷凝器冷凝，冷凝液经冷凝液管收集至有机溶剂储罐。

8.如权利要求1所述一种彩色光阻剂剥离废液的分离装置，其特征在于还设有烘箱与冷凝器，烘箱与冷凝器之间通过管道连接，烘箱上设有排气扇，冷凝器设有冷却水进口管、冷却水出口管、冷凝液管连通有机溶剂储罐。