[实用新型]一种AOI线宽的蚀刻均匀性测试调整机构

权利要求书

1.一种AOI线宽的蚀刻均匀性测试调整机构，包括主体(1)；

其特征在于：

所述主体(1)的内部开设有检测空腔(2)，所述检测空腔(2)的内侧底端活动连接有输送机构(3)，所述检测空腔(2)的内侧顶部活动连接有活动检测框架(4)，所述检测空腔(2)的内部顶端固定连接有固定限位机构(5)，所述活动检测框架(4)的顶部固定连接有固定定位机构(7)，所述固定定位机构(7)的顶部固定连接有转动丝杠(8)，所述主体(1)的顶部固定连接有齿轮定位机构(9)，所述齿轮定位机构(9)的内部活动卡接有第一从动齿轮(10)，所述主体(1)的顶部固定连接有固定安装块(11)，所述固定安装块(11)的顶部固定连接有输出电机(12)，所述输出电机(12)的输出端固定连接有第一主动齿轮(13)，所述活动检测框架(4)的内部一侧底端固定连接有红外发射器(14)，所述活动检测框架(4)的内部另一侧底端固定连接有红外接收器(15)。

2.根据权利要求1所述的一种AOI线宽的蚀刻均匀性测试调整机构，其特征在于：所述活动检测框架(4)的内侧固定连接有固定导向块(16)，所述固定导向块(16)的一端固定连接有第一连接限位板(17)，所述固定导向块(16)的表面外侧活动套接有移动安装块(18)，所述移动安装块(18)的底端固定连接有检测机构(19)，所述移动安装块(18)的顶部固定连接有连接移动块(20)，所述活动检测框架(4)的内侧顶端活动连接有转动螺杆(21)，所述转动螺杆(21)的一端固定连接有第二从动齿轮(22)，所述活动检测框架(4)的顶部固定连接有伺服电机(24)，所述伺服电机(24)的输出端固定连接有第二主动齿轮(23)，所述第二主动齿轮(23)与第二从动齿轮(22)之间相互啮合连接。

3.根据权利要求1所述的一种AOI线宽的蚀刻均匀性测试调整机构，其特征在于：所述转动丝杠(8)的顶部贯穿于齿轮定位机构(9)、第一从动齿轮(10)和主体(1)的内部，并延伸至外部，所述转动丝杠(8)与第一从动齿轮(10)之间通过螺纹相互连接，所述转动丝杠(8)的顶端固定连接有连接限位顶板(29)。

4.根据权利要求2所述的一种AOI线宽的蚀刻均匀性测试调整机构，其特征在于：所述转动螺杆(21)的另一端固定连接有第二连接限位板(26)，所述活动检测框架(4)的一端固定连接有固定定位板(25)，所述转动螺杆(21)定位另一端贯穿于固定定位板(25)的内部，并延伸至外部。

5.根据权利要求1所述的一种AOI线宽的蚀刻均匀性测试调整机构，其特征在于：所述第一从动齿轮(10)的底端固定连接有连接限位套块(28)，所述连接限位套块(28)的外侧与齿轮定位机构(9)的内侧相互滑动连接。

6.根据权利要求1所述的一种AOI线宽的蚀刻均匀性测试调整机构，其特征在于：所述固定限位机构(5)的内部活动连接有活动安装盘(30)，所述活动安装盘(30)的底端中部固定连接有活动连接拉杆(32)，所述活动安装盘(30)的底端固定连接有受压弹簧(31)，所述活动连接拉杆(32)的底端固定连接有连接限位底板(6)。