[实用新型]直流磁控溅射电源有效
| 申请号： | 202123055594.0 | 申请日： | 2021-12-07 |
| 公开（公告）号： | CN216313641U | 公开（公告）日： | 2022-04-15 |
| 发明（设计）人： | 张功智;李娟 | 申请（专利权）人： | 深圳市深中瑞科技有限公司 |
| 主分类号： | H05K5/02 | 分类号： | H05K5/02;H02M1/00;C23C14/35 |
| 代理公司： | 深圳科湾知识产权代理事务所(普通合伙) 44585 | 代理人： | 王巍 |
| 地址： | 518000 广东省深圳市宝安*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 直流 磁控溅射 电源 | ||
1.直流磁控溅射电源，包括机体(3)，其特征在于：所述机体(3)的表壁设置有前面板(7)，且前面板(7)表壁的两端均安装固定底片(6)，且固定底片(6)的上方设置有空管(10)，所述空管(10)的内部开设有内槽(14)，且空管(10)的上方设置有把手(2)，所述把手(2)的两端均设置有限位环(12)，且限位环(12)位于内槽(14)的内部。
2.根据权利要求1所述的直流磁控溅射电源，其特征在于：所述前面板(7)的表壁安装有显示模块(4)，且显示模块(4)的底部安装有按钮(8)，所述前面板(7)表壁位于显示模块(4)的一侧安装有开关(5)。
3.根据权利要求2所述的直流磁控溅射电源，其特征在于：所述前面板(7)的两侧均开设有安装槽(1)，且安装槽(1)的内部设置有支撑件(11)。
4.根据权利要求3所述的直流磁控溅射电源，其特征在于：所述支撑件(11)包括支撑板(9)、内板(17)和外板(16)，且内板(17)呈L型，所述支撑板(9)位于支撑件(11)的内壁，所述外板(16)位于内板(17)远离支撑板(9)的一侧。
5.根据权利要求4所述的直流磁控溅射电源，其特征在于：所述内板(17)和外板(16)之间安装有连接块(13)，且连接块(13)和安装槽(1)相匹配。
6.根据权利要求5所述的直流磁控溅射电源，其特征在于：所述连接块(13)的外部开设有卡槽(15)，所述卡槽(15)的厚度和前面板(7)的厚度相同。
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