[实用新型]一种用于冷却单晶硅棒的水冷屏有效
申请号: | 202123048997.2 | 申请日: | 2021-12-07 |
公开(公告)号: | CN216404587U | 公开(公告)日: | 2022-04-29 |
发明(设计)人: | 屠钫炜;吕建龙;应华美;钟达华;张志新;林向红;经培均;茅百明 | 申请(专利权)人: | 绍兴金泰容器制造有限公司 |
主分类号: | C30B15/00 | 分类号: | C30B15/00;C30B29/06 |
代理公司: | 北京众合诚成知识产权代理有限公司 11246 | 代理人: | 连平 |
地址: | 312300 浙江省绍*** | 国省代码: | 浙江;33 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 用于 冷却 单晶硅 水冷 | ||
本实用新型涉及单晶技术领域,公开了一种用于冷却单晶硅棒的水冷屏,包括内筒和外筒,内筒和外筒的下端固定连接有法兰圈,内筒和外筒之间固定有多个水平隔水板及两块平竖直隔水板,水平隔水板的两端分别与两块竖直隔水板固定连接;内筒的上端内壁上成型有左右设置的出水孔和进水孔,出水孔位于两块竖直隔水板之间;第奇数个水平隔水板的两个端部成型有第一落水豁口,第偶数个水平隔水板的中部成型有第二落水豁口,第二落水豁口位于进水孔的下方。它通过在内筒和外筒之间设置水平挡水板、竖直挡水板及第一落水豁口和第二落水豁口对冷却水进行定向路径流通,可有效提高冷却水的使用率,可有效提高对单晶硅棒的冷却。
技术领域:
本实用新型涉及单晶技术领域,具体涉及一种用于冷却单晶硅棒的水冷屏。
背景技术:
随着单晶行业竞争日趋激烈,只有不断提高单小时产出才能立于不败之地。而等径工序在整炉运行时间中占比70%以上,因此提高等径拉速可有效压缩等径时间提高单产。目前行业内利用水冷屏来提高等径拉速已普遍推广。现有各厂家所使用的水冷屏均采用中空金属腔体,内部通入冷却水,但对冷却水的流经路向没有进行限制,没有起到很好的冷却效果。
实用新型内容:
本实用新型的目的是克服现有技术的不足,提供一种用于冷却单晶硅棒的水冷屏,它通过在内筒和外筒之间设置水平挡水板、竖直挡水板及第一落水豁口和第二落水豁口对冷却水进行定向路径流通,可有效提高冷却水的使用率,可有效提高对单晶硅棒的冷却。
本实用新型解决所述技术问题的方案是:
一种用于冷却单晶硅棒的水冷屏,包括同轴心设置的内筒和外筒,内筒和外筒的下端固定连接有法兰圈,所述内筒和外筒之间固定有多个上下设置的呈“C”字型的水平隔水板及两块平行设置的竖直隔水板,水平隔水板的两端分别与两块竖直隔水板固定连接;
所述内筒的上端内壁上成型有左右设置的出水孔和进水孔,出水孔位于两块竖直隔水板之间;从上到下数第奇数个水平隔水板靠近竖直隔水板的两个端部成型有第一落水豁口,从上到下数第偶数个水平隔水板的中部成型有第二落水豁口,第二落水豁口位于进水孔的下方。
所述内筒包括固定连接的上锥筒和下圆筒,上锥筒和下圆筒之间通过焊接固定;
所述外筒包括固定连接的上圆筒和下锥筒,上圆筒和下锥筒之间通过焊接固定;
所述法兰圈包括一体成型的向上延伸的内凸环和外凸环,内凸环的上端与下圆筒的下端焊接固定,外凸环的下端与下锥筒的下端固定连接。
所述上锥筒的上端高出上圆筒,上锥筒的上端外壁压靠在上圆筒的上端内壁上;
所述上锥筒和上圆筒的结合处通过焊接固定。
所述出水孔和进水孔为非圆形孔。
所述内筒的内壁上和外壁上成型有若干凸起。
本实用新型的突出效果是:
与现有技术相比,它通过在内筒和外筒之间设置水平挡水板、竖直挡水板及第一落水豁口和第二落水豁口对冷却水进行定向路径流通,可有效提高冷却水的使用率,可有效提高对单晶硅棒的冷却。
附图说明:
图1为本实用新型的结构示意图;
图2为本实用新型的内筒和水平隔水板、竖直隔水板的部装示意图;
图3为图2的另一侧视图;
图1中实线箭头和虚线箭头为冷却水的流向。
具体实施方式:
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