[实用新型]一种四氯化硅混合装置

说明书

本实用新型涉及多晶硅制作领域的一种四氯化硅混合装置，包括底座及卧式的混料罐，所述底座上对应设置有两个立柱，所述混料罐转动设置在两个立柱之间，混料罐的一端固定连接有转动管，所述转动管与对应的立柱通过轴承转动连接，所述转动管通过皮带与转动电机连接；所述混料罐内设有进气组件及搅拌组件，混料罐上设有可开合的进料口及出料管，所述出料管上设有开关阀门。本实用新型结构合理，操作简便，提高了物料的混合效率及混合的均匀度，有利于下一工序的生产；另外本实用新型还适用于多种物料的混合，例如固液混合、固气混合及液体之间的混合，适用范围广，实用性强。

技术领域

本实用新型涉及多晶硅制作领域，具体地，涉及一种四氯化硅混合装置及方法。

背景技术

多晶硅生产过程之中会产生大量有害的副产物四氯化硅，目前对四氯化硅的处理方法主要是利用氢化技术将其转化为三氯氢硅，三氯氢硅是多晶硅生产的原料，将四氯化硅转化为三氯氢硅一般采用热氢技术，其过程中，需要将四氯化硅与氢气按照设定比例混合均匀后在氢化装置中进行反应，现有技术中的混合装置，混合效率低，混合均匀度差，不利于后续的氢化反应。

实用新型内容

针对现有技术存在的上述缺陷本实用新型提供了一种四氯化硅混合装置，包括底座及卧式的混料罐，所述底座上对应设置有两个立柱，所述混料罐转动设置在两个立柱之间，混料罐的一端固定连接有转动管，所述转动管与对应的立柱通过轴承转动连接，所述转动管通过皮带与转动电机连接；所述混料罐内设有进气组件及搅拌组件，混料罐上设有可开合的进料口及出料管，所述出料管上设有开关阀门；

所述进气组件包括布气管，所述布气管的内壁上设有进气夹层，所述布气管的两端均贯穿混料罐并通过轴承与混料罐转动连接，所述布气管的一端固定连接有进气管，所述进气管的一端与进气夹层连通，进气管的另一端从转动管中伸出并与气源连接，所述布气管的另一端与对应的立柱固定连接；位于混料罐内的布气管上固定有多个喷气管，所述喷气管与进气夹层连通，喷气管上布满喷气孔；

所述搅拌组件包括正反转电机、螺纹杆及搅拌叶片，所述螺纹杆与布气管平行设置，螺纹杆的一端伸入布气管内并与布气管的一端的内壁通过轴承转动连接，螺纹杆的另一端贯穿布气管后与固定在对应立柱上的正反转电机的输出轴连接，位于布气管内的螺纹杆上螺纹配合有移动套，所述移动套的外壁上沿周向均匀设有多个连接块，所述连接块对应的布气管上设有匹配的长条形通槽，所述长条形通槽与螺纹杆平行，所述连接块的一端伸出长条形通槽外并通过固定件与搅拌叶片连接。

优选的，所述转动管远离混料罐的一端连接有旋转接头，所述旋转接头的出气端与转动管内的进气管连接，旋转接头的进气端连接有进气软管，所述进气软管与气源连接，进气软管上设有气泵。

优选的，所述连接块为两个，所述搅拌叶片与喷气管平行。

本实用新型还包括能够使一种四氯化硅混合装置及方法正常使用的其它组件，如转动电机的控制组件，正反转电机的控制组件，气泵的控制组件等均为本领域的常规技术手段。另外，本实用新型中未加限定的装置或组件均采用本领域中的常规技术手段，如转动电机、正反转电机、搅拌叶片、皮带、气泵，螺纹杆、开关阀门等均为本领域常规设备。

本实用新型的原理为：四氯化硅从进料口加入混料罐，关闭进料口，此时出料管上开关阀门关闭且不连接导料管，转动电机转动带动混料罐内的物料转动，此时进气管通入反应气体(氢气)，反应气体进入布气管的进气夹层，并从进气夹层进入各喷气管，然后从喷气管的喷气孔喷出与物料混合，由于喷气管的分散分布，一定程度提高了混合均匀度；同时，正反转电机正反转，带动螺纹杆在布气管内转动，在连接块与长条形通槽的配合作用下，移动套不随螺纹杆的转动而转动，而是沿螺纹杆往复运动，此时搅拌叶片对混料罐内的物料起到搅拌作用，使物料与反应气体的混合更加均匀高效，完成混合后，出料管位于混料罐下方，在出料管上套上导料管，打开开关阀门即可将混合后的物料导入下一工序中。