[实用新型]一种超高纯气体充装装置有效
| 申请号： | 202123024596.3 | 申请日： | 2021-12-02 |
| 公开（公告）号： | CN216556484U | 公开（公告）日： | 2022-05-17 |
| 发明（设计）人： | 陈宗美;葛卫平;程振洲;钱江;白雪;曹瑜 | 申请（专利权）人： | 苏州康华净化系统工程有限公司 |
| 主分类号： | F17C13/00 | 分类号： | F17C13/00;F17C13/08;F17C13/04;F17C13/02 |
| 代理公司： | 上海宏京知识产权代理事务所(普通合伙) 31297 | 代理人： | 夏梦恬 |
| 地址： | 215021 江苏*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 高纯 气体 装置 | ||
1.一种超高纯气体充装装置，包括支撑架(105)、左主管(103)和右主管(111)，所述支撑架(105)设有两个且左右平行，两个所述支撑架(105)之间设有集气瓶(101)，所述左主管(103)和右主管(111)分别安装于左右两个所述支撑架(105)上方，其特征在于：
所述左主管(103)右侧连通有若干根进气支管(106)，所述右主管(111)左侧连通有若干根出气支管(113)，左边的所述支撑架(105)右侧中部安装有PLC控制器(104)；
所述集气瓶(101)左右两侧上端均连通有连接管(120)，所述集气瓶(101)外部上端套接有支撑筒(109)，所述支撑筒(109)左右两侧均贯穿设置有转管(118)，所述进气支管(106)靠内的一端和出气支管(113)靠内的一端均与相邻的所述转管(118)之间连通有软管，所述转管(118)与相邻的所述连接管(120)之间为可拆卸连接。
2.根据权利要求1所述的一种超高纯气体充装装置，其特征在于：所述左主管(103)左侧连通有进气管(102)，所述右主管(111)右侧连通有出气管(112)。
3.根据权利要求1所述的一种超高纯气体充装装置，其特征在于：所述连接管(120)外部安装有阀门三(121)，所述集气瓶(101)上面左右两侧分别安装有按钮一(116)和按钮二(117)，两个所述阀门三(121)均与按钮一(116)和按钮二(117)电性连接。
4.根据权利要求1所述的一种超高纯气体充装装置，其特征在于：所述进气支管(106)外部从左至右依次安装有阀门一(107)和气压传感器一(108)，所述出气支管(113)外部从左至右依次安装有气压传感器二(115)和阀门二(114)。
5.根据权利要求4所述的一种超高纯气体充装装置，其特征在于：所述阀门一(107)、气压传感器一(108)、气压传感器二(115)和阀门二(114)均与PLC控制器(104)信号连接。
6.根据权利要求1所述的一种超高纯气体充装装置，其特征在于：所述转管(118)靠内的一端拧入相邻的所述连接管(120)内部，所述转管(118)外部贴合有位于支撑筒(109)外部的摩擦垫(119)。
7.根据权利要求1所述的一种超高纯气体充装装置，其特征在于：所述支撑筒(109)内部左右两侧均连接有位于连接管(120)下方的支撑板(110)，所述支撑板(110)下面与集气瓶(101)上端边缘贴合。
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