[实用新型]一种半径球面光学元件自动化位姿调整装置

说明书

本实用新型涉及一种光学试验用具，公开了一种半径球面光学元件自动化位姿调整装置，包括底座，还包括：连接在底座内的竖向倾角调整机构；连接在竖向倾角调整机构上的横向倾角调整机构；连接在倾斜角度调整机构上的自旋机构，本实用新型首先通过自旋机构对球面镜进行安装固定的同时驱动球面镜进行旋转，对球面镜的轴向位置进行调整，同时可通过竖向倾角调整机构对球面镜的竖直方向的倾斜角度进行调整，还可通过横向倾角调整机构对球面镜的倾斜角度进行调节，本实用新型实现了对球面镜位姿的自动调节，提升了装置的实用性。

技术领域

本实用新型涉及一种光学试验用具，具体是一种半径球面光学元件自动化位姿调整装置。

背景技术

在惯性约束聚变(ICF)系统中，大曲率半径(R4m)球面光学元件被广泛应用。例如常用的反射镜尺寸达到口径430mm，在对其表面微米级缺陷检测时，需要进行暗场显微散射成像的全口径扫描采集，再利用高倍显微镜精确定位并提取缺陷特征。

由于使用的高倍显微镜景深范围通常只有10到20微米，如果被测球面光学元件光轴与显微镜光轴不平行，在高倍定位提取特征时就会出现定位不准、无法准确采集特征或者即使找到特征，两光轴不平行引入的位姿误差使焦平面超出高倍显微镜景深范围而离焦的情况，都会对缺陷的精确定位和评价造成影响，而手动调整效率低下。

实用新型内容

本实用新型的目的在于提供一种半径球面光学元件自动化位姿调整装置，以解决上述背景技术中提出的问题。

为实现上述目的，本实用新型提供如下技术方案：

一种半径球面光学元件自动化位姿调整装置，包括底座，还包括：

连接在底座内的竖向倾角调整机构，用于对球面镜的竖直方向的倾斜角度进行调整；

连接在竖向倾角调整机构上的横向倾角调整机构，用于对球面镜的横向倾斜角度进行调节；

连接在横向倾角调整机构上的自旋机构，用于驱动球面镜进行旋转，对球面镜的轴向位置进行调整。

作为本实用新型进一步的方案：所述竖向倾角调整机构包括转动连接在底座内的第一转轴与第二转轴，所述第一转轴上固定连接有第一齿轮，第二转轴上固定连接有第二齿轮，第一齿轮与第二齿轮之间啮合连接有同步带，所述第一转轴一端固定连接有转动盘，所述底座表面固定连接有第一电动机，第一电动机的输出轴穿过底座固定连接在第二转轴上。

作为本实用新型进一步的方案：所述横向倾角调整机构包括固定连接在转动盘上的两组固定块，两组固定块之间转动连接有第三转轴，第三转轴上固定连接有转动架，所述第三转轴一端穿过固定块固定连接有第三齿轮，第三齿轮一侧设置有第四齿轮，第三齿轮与第四齿轮相互啮合，所述转动盘上固定连接有第二电动机，第四齿轮固定连接在第二电动机的输出轴上。

作为本实用新型进一步的方案：所述自旋机构包括设置在转动架内的限位滑槽，限位滑槽呈弧形设置，所述限位滑槽中滑动连接有安装环，所述安装环外壁上设置有齿轮槽，所述转动架内设置有驱动槽，驱动槽内转动连接有第四转轴，第四转轴上固定连接有第五齿轮，第五齿轮与齿轮槽相互啮合，所述转动架一侧固定连接有第三电动机，第三电动机的输出轴穿过转动架固定连接在第四转轴上。

作为本实用新型再进一步的方案：所述安装环内连接有球面镜。

与现有技术相比，本实用新型的有益效果是：本实用新型首先通过自旋机构对球面镜进行安装固定的同时驱动球面镜进行旋转，对球面镜的轴向位置进行调整，同时可通过竖向倾角调整机构对球面镜的竖直方向的倾斜角度进行调整，还可通过横向倾角调整机构对球面镜的横向倾斜角度进行调节，本实用新型实现了对球面镜位姿的自动调节，提升了装置的实用性。

附图说明

图1为本实用新型中一种半径球面光学元件自动化位姿调整装置的结构示意图。