[实用新型]一种超高纯气体纯化装置

权利要求书

1.一种超高纯气体纯化装置，其特征在于，该超高纯气体纯化装置包括防护箱(1)，支撑柱(2)，密封板(3)，锁紧螺栓(4)，导管(5)，防护壳(6)，安装管(7)，阀门(8)，调节阀(9)，输送管(10)，托板(11)，防护盒(12)，气体净化纯化箱结构(13)，气体降温储存箱结构(14)和气体清洗导流架结构(15)，所述的支撑柱(2)分别螺栓连接在防护箱(1)左右两侧的下部；所述的密封板(3)扣接在防护箱(1)的上部；所述的锁紧螺栓(4)螺纹连接在防护箱(1)和密封板(3)的连接处；所述的导管(5)螺纹连接在防护箱(1)左侧的上部；所述的防护壳(6)螺栓连接在导管(5)的下部；所述的安装管(7)螺纹连接在防护箱(1)右侧的下部；所述的阀门(8)螺纹连接在安装管(7)外表面上部的中间位置；所述的调节阀(9)螺纹连接在防护箱(1)外表面的下部；所述的输送管(10)螺纹连接在调节阀(9)内侧的下部；所述的托板(11)螺栓连接在支撑柱(2)和支撑柱(2)连接处的下部；所述的防护盒(12)放置在托板(11)上表面的中间位置；所述的气体净化纯化箱结构(13)设置在安装管(7)底部的右侧；所述的气体降温储存箱结构(14)安装在气体净化纯化箱结构(13)的右侧；所述的气体清洗导流架结构(15)设置在防护箱(1)内部左侧的上部；所述的气体净化纯化箱结构(13)包括保护箱(131)，支撑座(132)，隔离网(133)，支管(134)，储存箱(135)，净化芯(136)，连接管(137)和吸气泵(138)，所述的支撑座(132)分别螺栓连接在保护箱(131)左右两侧的中间位置；所述的隔离网(133)镶嵌在保护箱(131)内侧的下部；所述的支管(134)螺纹连接在保护箱(131)底部的中间位置；所述的储存箱(135)螺栓连接在支管(134)的下部；所述的净化芯(136)镶嵌在储存箱(135)内侧的上部；所述的连接管(137)螺纹连接在储存箱(135)右侧的下部；所述的吸气泵(138)螺纹连接在连接管(137)正表面左侧的中间位置。

2.如权利要求1所述的超高纯气体纯化装置，其特征在于，所述的防护箱(1)右侧的下部车削有螺纹孔；所述的防护箱(1)外表面的下部车削有螺纹。

3.如权利要求1所述的超高纯气体纯化装置，其特征在于，所述的防护壳(6)上表面的中间位置开设有卡槽；所述的卡槽的内壁上车削有螺纹。

4.如权利要求1所述的超高纯气体纯化装置，其特征在于，所述的保护箱(131)通过支管(134)与储存箱(135)相连通；所述的储存箱(135)右侧的上部开设有插接孔。

5.如权利要求1所述的超高纯气体纯化装置，其特征在于，所述的气体降温储存箱结构(14)包括储气罐(141)，风机(142)，排气阀(143)，紧固管(144)，调节管(145)，紧密板(146)和安装螺栓(147)，所述的风机(142)螺栓连接在储气罐(141)左侧的上部；所述的排气阀(143)螺纹连接在储气罐(141)右侧的上部；所述的紧固管(144)螺纹连接在排气阀(143)的右侧；所述的调节管(145)螺纹连接在紧固管(144)的右侧；所述的紧密板(146)通过安装螺栓(147)连接在储气罐(141)右侧的下部。

6.如权利要求5所述的超高纯气体纯化装置，其特征在于，所述的储气罐(141)左侧的上部开设有固定槽；所述的储气罐(141)右侧的下部开设有维护孔。

7.如权利要求1所述的超高纯气体纯化装置，其特征在于，所述的气体清洗导流架结构(15)包括导流板(151)，连杆(152)，支撑杆(153)，储水盒(154)，吸水棉(155)和固定环(156)，所述的连杆(152)螺栓连接在导流板(151)底部；支撑杆(153)螺栓连接在连杆(152)右侧的下部；所述的储水盒(154)螺栓连接在支撑杆(153)的右侧；所述的吸水棉(155)放置在储水盒(154)内侧的下部；所述的固定环(156)分别缝接在吸水棉(155)上表面的左右两侧。