[实用新型]一种微型静电传感器

说明书

一种微型静电传感器，属静电检测领域。设置一L型壳体，构成类似于字母“L”的结构；在L型壳体上设置有静电检测窗口；在L型壳体静电检测窗口所在的检测面上设置有距离检测窗口和温湿度检测窗口；距离检测窗口及温湿度检测窗口与L型壳体上的静电检测窗口位于同一侧面；在控制板单元上与距离检测窗口位置相对应的位置设置距离传感器或距离传感器芯片；在控制板单元上与温湿度检测窗口位置相对应的位置设置温湿度传感器或温湿度传感器芯片。其取消了产品本体上调节工作参数的编码开关，外形尺寸大幅缩小，可方便地安装在狭小空间或设备内部；可实时获取所在工作环境及检测距离参数，便于建立温湿度及距离的补偿机制，使检测性能发挥到最大。

技术领域

本实用新型属于静电检测领域，尤其涉及一种微型静电传感器。

背景技术

随着科学技术的飞速发展，电子、通信、航天航空等高新技术产业的迅速崛起，尤其是电子仪器仪表和设备等电子产品日趋小型化、多功能及智能化。高密度集成电路已成为电子工业中不可缺少的器件。这种器件具有线间距短、线细、集成度高、运算速度快、低功率和输入阻抗高的特点，因而导致这类器件对静电越来越敏感。静电放电是导致元器件击穿危害和对电子设备的运行产生干扰的主要原因。在电子产品的生产中，从元器件的预处理、安装、焊接、清洗、至单板测试、总测、直到包装、储存、发送等工序，都可能产生对器件的静电放电击穿危害。因此，静电防护显得越来越重要。

静电传感器是集成电路生产制造过程中不可缺少的重要的静电防护检测仪器,它为掌控集成电路生产、储运和技术保障过程中静电起电情况，判断该过程中静电放电的危险性，确定静电控制/危险场所，检验静电防护措施的效能以及分析静电事故，都起着至关重要的作用。

由于集成电路的日趋小型化及生产的自动化，其对静电传感器的安装使用要求越来越高；如，须将静电传感器嵌入在机械手内，随机械手臂进行动态静电检测；这就要求静电传感器的结构尺寸也要做到小型化，与现场生产设备/工艺相匹配，满足安装使用需求。

然而，现有静电传感器产品外形尺寸均难以满足小型化安装的需求，制约着生产效率的提高。

现有静电传感器产品多为类似于专利号为CN201730682582.0中所公开的圆柱形(见图1所示)或专利号为CN202030825911.4中所公开的长方体结构(见图2所示)，此类静电传感器产品在其本体上设置有多个调节工作参数的编码开关，故导致了其产品的外形尺寸较大。

同时，静电压检测与检测环境温湿度及检测距离有着较强的相关性，而现有产品亦未设置温湿度检测和距离检测装置，只具备固定距离下的单一静电检测功能。

现有技术方案存在如下技术缺陷：

1)产品外形尺寸较大，无法安装在狭小空间或/和设备内部；即使完成安装，也会影响生产操作，无法实际应用；

2)由于产品未设置温湿度检测和距离检测装置，导致产品功能单一，亦无法建立起温湿度及距离的补偿机制，检测性能因此受到限制；

3)因无法取得与静电紧密相关的温湿度和距离参数，会使对静电防护的认知受到局限，进而导致管理措施不全面，无法有效防止静电危害。

因此，急需一款微型静电传感器以匹配生产需求，监控静电危害。

实用新型内容

本实用新型所要解决的技术问题是提供一种微型静电传感器。其采用自带温湿度和距离检测的微型结构，取消了产品本体上调节工作参数编码开关的结构设置，产品外形尺寸大幅缩小，可方便的安装在狭小空间或/和设备内部，与生产工艺的兼容性大幅提高；同时，在产品内置了温湿度检测和距离检测传感芯片，可实时获取所在工作环境及检测距离参数，便于建立温湿度及距离的补偿机制，使检测性能发挥到最大。

本实用新型的技术方案是：提供一种微型静电传感器，包括壳体、位于壳体中的振动电极检测单元及控制板单元，其特征是：