[实用新型]一种静电传感器自动测试装置

说明书

一种静电传感器自动测试装置，属测试领域。设置一金属测试屏蔽舱；在测试屏蔽舱内设置校准/测试用平板电极，平板电极经绝缘支架固定在测试屏蔽舱内部；在校准/测试用平板电极上方设置测试距离自动调节装置；测试距离自动调节装置包括电机、转动臂、联动杆和测试支架；测试支架垂直地设置在测试屏蔽舱内在测试支架的下端，设置传感器固定件；待测的静电传感器可插拔地固定在传感器固定件上；固定在传感器固定件上的静电传感器位于校准/测试用平板电极中心的正上方。通过设置一个全密封电磁屏蔽结构，在测试过程中能屏蔽外界干扰，设置测试距离自动调节装置可实现传感器在动态测试距离下的静电压检测。传感器的测试工作效率显著提高。

技术领域

本实用新型属于测试领域，尤其涉及一种针对静电传感器进行校准或测试的试验装置。

背景技术

静电传感器已广泛应用在电子工业生产线上，对产品进行在线实时的静电监测；其监测结果的准确性对生产工艺、产品质量及防静电管控措施有着及其重要的影响。而针对静电传感器的校准或测试，虽有相关的国家计量标准(JJF 1517-2015非接触式静电电压测量仪校准规范)，但其只是对检测方法做了原则性的规定，而针对测试装置的具体技术要求等相关技术细节并未给出明确的要求；但这些技术细节对静电传感器的校准或测试会产生明显的影响，不能对其忽略。因此，如依据现有的国家计量标准所规定的的校准/测试装置无法满足对静电传感器的校准或测试要求，急需研制出一套满足实际需求的静电传感器自动测试装置。

现有的静电传感器校准或测试装置，通常包含：校准或校准/测试用平板电极、绝缘支架、静电传感器安装件、测试距离调整装置以及直流高压电源。

现有技术方案存在如下技术缺陷：

1)因现有静电传感器自动测试装置无附加屏蔽措施，故极易受到外界静电场、电磁场和/或空间电荷的背景干扰，影响静电压测试的精确性。

2)因无法对实时检测到的电压波形进行记录并保存，就无法便捷的持续监测并分析数据。

3)因现有静电传感器自动测试装置，无法自动调节并记录、保存测试距离，因此不便于动态检测距离下静电压检测规律的分析。

此外，现有的静电传感器自动测试装置只能满足基本的静电压测试功能，无法对检测到的电压波形及其相对应的检测距离进行自动记录并保存。

实用新型内容

本实用新型所要解决的技术问题是提供一种静电传感器自动测试装置。其通过设置一个全密封的电磁屏蔽结构，能够在整个测试过程中屏蔽外界静电场、电磁场和/或空间电荷的背景干扰，不会因外部干扰而对测试造成影响；通过设置测试距离自动调节装置，可实现传感器在动态测试距离下的静电压检测，利于分析静电检测的基本规律；其采用插拔式结构的传感器固定件，便于传感器的安装固定，使传感器的测试工作效率显著提高。

本实用新型的技术方案是：提供一种静电传感器自动测试装置，其特征是：

设置一个测试屏蔽舱；

所述测试屏蔽舱的舱壁由金属板材组成；

在测试屏蔽舱内，设置一个校准/测试用平板电极，校准/测试用平板电极经绝缘支架固定在测试屏蔽舱内部；

在校准/测试用平板电极的上方，设置一个测试距离自动调节装置；

所述的测试距离自动调节装置至少包括电机、转动臂、联动杆和测试支架；所述电机的转轴经转动臂、联动杆与测试支架的上端连接；

所述的测试支架垂直地设置在测试屏蔽舱内，在电机的带动下作上、下垂直移动；

在测试支架的下端，设置一个传感器固定件；

待测的静电传感器可插拔地固定在传感器固定件上；