[实用新型]多气体的混合配气装置及C5

权利要求书

1.多气体的混合配气装置，其特征在于，包括混气装置和储气装置(2)；所述混气装置设置为螺旋管道(1)，且所述螺旋管道(1)的轴线与水平面垂直，所述螺旋管道(1)远离地面侧的管口通过输出管路与所述储气装置(2)连通，所述螺旋管道(1)靠近地面侧的管口通过多通阀(3)连接多个输入管路。

2.根据权利要求1所述的多气体的混合配气装置，其特征在于，所述螺旋管道(1)远离地面侧的管口处设置有用于调节混合气体流速的第一阀门(4)。

3.根据权利要求1所述的多气体的混合配气装置，其特征在于，所述储气装置(2)包括进气端和出气端，所述进气端设置于所述储气装置(2)的底部，所述出气端设置于所述储气装置(2)的顶部。

4.根据权利要求3所述的多气体的混合配气装置，其特征在于，所述进气端和所述出气端均设置有第二阀门(5)。

5.根据权利要求1所述的多气体的混合配气装置，其特征在于，还包括真空泵(6)，所述真空泵(6)与所述输出管路连通设置。

6.根据权利要求1所述的多气体的混合配气装置，其特征在于，所述输入管路上还设置有第三阀门(7)。

7.根据权利要求1所述的多气体的混合配气装置，其特征在于，所述储气装置(2)的高度设置为0.6m-1m。

8.根据权利要求1所述的多气体的混合配气装置，其特征在于，所述储气装置(2)内设置有气压传感器。

9.根据权利要求1所述的多气体的混合配气装置，其特征在于，所述输入管路、所述输出管路、所述螺旋管道(1)以及所述储气装置(2)的内壁均涂覆有特氟龙。

10.C₅F₁₀O三元混合气体的配气系统，其特征在于，包括第一缓冲气体瓶(8)、第二缓冲气体瓶(9)、C₅F₁₀O气瓶(10)以及如权利要求1-9中任意一项所述的多气体的混合配气装置，所述第一缓冲气体瓶(8)、所述第二缓冲气体瓶(9)以及所述C₅F₁₀O气瓶(10)各自与一根所述输入管路连接。