[实用新型]硅棒切割系统的切割装置及硅棒切割系统有效
申请号: | 202122647863.6 | 申请日: | 2021-11-01 |
公开(公告)号: | CN216578649U | 公开(公告)日: | 2022-05-24 |
发明(设计)人: | 刘克村;李志;戴鑫辉;薛俊兵;郭世锋;杨国栋;李林 | 申请(专利权)人: | 青岛高测科技股份有限公司 |
主分类号: | B28D5/04 | 分类号: | B28D5/04;B28D7/04;B28D7/00;B28D7/02;B65G47/90 |
代理公司: | 北京科慧致远知识产权代理有限公司 11739 | 代理人: | 王乾旭;赵红凯 |
地址: | 266114 山东省青*** | 国省代码: | 山东;37 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 切割 系统 装置 | ||
1.一种硅棒切割系统的切割装置,其特征在于,包括硅棒支撑机构;所述硅棒支撑机构包括:
刚性的硅棒支撑安装座;
用于支撑竖向硅棒下端面的下浮动头,所述下浮动头安装在所述硅棒支撑安装座的上方。
2.根据权利要求1所述的切割装置,其特征在于,所述硅棒支撑机构还包括边皮支撑组件,所述边皮支撑组件包括:
边皮支撑用驱动装置,固定在所述硅棒支撑安装座之上且与所述下浮动头间隔设置;
用于支撑硅棒下端面中被切割后形成边皮位置的边皮支撑头,所述边皮支撑头固定在所述边皮支撑用驱动装置的顶端;其中,所述边皮支撑用驱动装置用于在硅棒被切割成方棒和边皮时,锁紧以使得所述边皮支撑头保持高度,对边皮进行支撑。
3.根据权利要求2所述的切割装置,其特征在于,所述边皮支撑用驱动装置为边皮支撑用气缸;
所述边皮支撑用气缸的缸体与所述硅棒支撑安装座固定,所述边皮支撑用气缸的导向杆与所述边皮支撑头固定。
4.根据权利要求3所述的切割装置,其特征在于,所述下浮动头具有向上凸起的三个下浮动头支撑头,且三个下浮动头支撑头位于一个三角形的三个顶点处;
所述边皮支撑组件为四个,且四个边皮支撑组件位于一个长方形的四个顶点处。
5.根据权利要求4所述的切割装置,其特征在于,所述硅棒支撑机构还包括硅棒转动组件,所述硅棒转动组件包括:
硅棒转动轴,所述下浮动头固定在所述硅棒转动轴之上,所述硅棒转动轴转动连接在所述硅棒支撑安装座之上;
硅棒驱动电机,固定在所述硅棒支撑安装座之下,与所述硅棒转动轴连接以驱动所述硅棒转动轴转动。
6.根据权利要求1至5任一所述的切割装置,其特征在于,还包括硅棒夹头机构,所述硅棒夹头机构包括:
夹头架;
上浮动头,安装在所述夹头架处;所述夹头架能够上下运动且所述上浮动头用于压在竖向放置的硅棒的上端面;
扶边皮支架,与所述夹头架连接且能够向下伸出及向上复位,所述扶边皮支架用于向下伸出且扶在硅棒的外周面,所述扶边皮支架还用于向上复位离开硅棒的外周面。
7.根据权利要求6所述的切割装置,其特征在于,所述扶边皮支架包括:
扶边皮支架安装件,与所述夹头架固定;
扶杆固定件和边皮扶杆,所述边皮扶杆固定在所述扶杆固定件远离所述上浮动头的一侧且向下伸出;
扶边皮驱动装置,分别与所述扶边皮支架安装件和所述扶杆固定件连接,用于带动所述扶杆固定件和所述边皮扶杆向下伸出及向上复位。
8.根据权利要求7所述的切割装置,其特征在于,一个所述扶杆固定件的四周固定四个所述边皮扶杆;
所述上浮动头具有向下凸起的三个上浮动头压紧头,且三个上浮动头压紧头位于一个三角形的三个顶点处。
9.根据权利要求6所述的切割装置,其特征在于,还包括切割机头机构,所述切割机头机构包括线锯组件,所述线锯组件包括:
线锯安装架,具有竖向的机头通孔;
金刚线,设置在所述线锯安装架的正侧,且所述金刚线的切割段低于所述机头通孔;
其中,所述切割段为金刚线在运动中用于对硅棒进行切割的部分,所述线锯安装架安装金刚线的一侧为线锯安装架的正侧。
10.根据权利要求9所述的切割装置,其特征在于,一个切割装置包括两个所述切割机头机构,两个所述切割机头机构的切割段相对设置,且两个所述切割段能够相向和相背移动以调整两个所述切割段之间的距离。
11.根据权利要求10所述的切割装置,其特征在于,每个所述切割机头机构还包括:
清洗组件,固定在所述线锯安装架的正侧;
其中,所述清洗组件具有多个清洗喷头,所述清洗组件的清洗喷头包括:对对侧和本侧的切割机头机构进行清洗的第一部分清洗喷头,对对侧的切割机头机构进行清洗的第二部分清洗喷头。
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