[实用新型]一种蓝宝石晶片涂布用定位装置有效
申请号: | 202122564564.6 | 申请日: | 2021-10-25 |
公开(公告)号: | CN216323054U | 公开(公告)日: | 2022-04-19 |
发明(设计)人: | 洪文庆 | 申请(专利权)人: | 锐捷光电科技(江苏)有限公司 |
主分类号: | B05C13/02 | 分类号: | B05C13/02 |
代理公司: | 合肥山高专利代理事务所(普通合伙) 34234 | 代理人: | 俞晓明 |
地址: | 215000 江苏省苏州市张家港经济技术开发*** | 国省代码: | 江苏;32 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 蓝宝石 晶片 涂布用 定位 装置 | ||
本实用新型公开了一种蓝宝石晶片涂布用定位装置,包括底板,所述底板的上方设有侧板,所述侧板的上方设有顶板,所述侧板的一端与所述底板的顶部固定连接,另一端与所述顶板的底部固定连接,所述底板的顶部中心处设有基台,所述基台的顶部开设有升降槽,所述基台的内腔设有升降组件,所述基台的上方设有基板,所述基板上设有横移组件,所述基板的上方设有置物台,所述顶板的底部中心处设有涂布组件,所述涂布组件的一侧设有控制器,所述侧板上对称设有安装板,本实用新型其定位效果优秀且精度较高,并且具有自动定位的功能,可以避免蓝宝石晶片在涂布工序中因定位不准确而造成的涂布偏移,从而保证了蓝宝石晶片的涂布效果。
技术领域
本实用新型涉及一种定位装置,具体为一种蓝宝石晶片涂布用定位装置,属于蓝宝石晶片加工技术领域。
背景技术
蓝宝石又称Al2O3单晶,俗称刚玉,是一种简单配位型氧化物晶体,蓝宝石晶体具有优异的光学性能、机械性能和化学稳定性,强度高、硬度大、耐冲刷,可在接近2000℃高温的恶劣条件下工作,其独特的晶格结构、优异的力学性能、良好的热学性能使蓝宝石晶体成为实际应用的半导体GaN/Al2O3发光二极管(LED)、大规模集成电路SOI和SOS及超导纳米结构薄膜等最为理想的衬底材料,近年来,随着现代科学技术的发展,对蓝宝石晶体材料的尺寸、质量不断提出新的要求。
蓝宝石晶片作为一种重要的技术晶片,已被广泛地应用于科学技术、国防与民用工业、电子技术的许多领域,比如透红外窗口材料,微电子领域的衬底基片,激光基质、光学元件及其它用途等,在蓝宝石晶片的加工过程中,对其进行涂布是一项十分重要且必不可少的工序,在蓝宝石晶片的涂布工序中容易因定位不准确而造成涂布偏移,从而影响了蓝宝石晶片的涂布效果,传统的定位装置大多为人工调节,其定位效果较差且精度较低,因此无法满足现有的需求。
实用新型内容
本实用新型的目的就在于为了解决上述问题而提供一种蓝宝石晶片涂布用定位装置,其定位效果优秀且精度较高,并且具有自动定位的功能,可以避免蓝宝石晶片在涂布工序中因定位不准确而造成的涂布偏移,从而保证了蓝宝石晶片的涂布效果。
本实用新型通过以下技术方案来实现上述目的,一种蓝宝石晶片涂布用定位装置,包括底板,所述底板的上方设有侧板,所述侧板的上方设有顶板,所述侧板的一端与所述底板的顶部固定连接,另一端与所述顶板的底部固定连接,所述底板的顶部中心处设有基台,所述基台的顶部开设有升降槽,所述基台的内腔设有升降组件,所述基台的上方设有基板,所述基板上设有横移组件,所述基板的上方设有置物台,所述顶板的底部中心处设有涂布组件,所述涂布组件的一侧设有控制器,所述侧板上对称设有安装板,所述安装板通过螺栓安装至所述侧板上且所述安装板上设有第一红外传感器。
优选的,所述升降组件包括双轴电机,所述双轴电机的两侧对称设有移动槽,所述双轴电机的输出端上设有螺纹杆,两个所述螺纹杆上设有方向相反的外螺纹。
优选的,所述螺纹杆上贯穿设有螺纹座且所述螺纹座滑动连接设置于所述移动槽内,所述螺纹座与所述螺纹杆螺纹连接且所述螺纹座上通过铰接轴连接设有升降杆,所述升降杆远离所述螺纹座的一端也通过铰接轴与所述基板的底部连接。
优选的,所述横移组件包括设置于所述基板一侧壁上的驱动电机,所述驱动电机的输出端上设有丝杆,所述丝杆远离所述驱动电机的一端贯穿所述基板的侧壁且延伸至所述基板的内腔并与所述基板的内腔另一侧壁转动连接。
优选的,所述丝杆上贯穿设有移动座且所述移动座滑动连接设置于所述基板的内腔,所述移动座的顶部贯穿所述基板的顶壁并延伸至所述基板的上方且所述移动座的贯穿端与所述置物台固定连接。
优选的,所述涂布组件包括安装座,所述安装座上设有液压缸,所述液压缸的输出端上设有安装框,所述安装框的内腔设有涂布滚筒。
优选的,所述涂布滚筒的两端通过转轴与所述安装框的两侧壁连接,所述安装框内腔顶部的前侧设有第二红外传感器。
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