[实用新型]红外热电堆传感器的量产测试装置

说明书

本实用新型提供一种红外热电堆传感器的量产测试装置，其包括：测试板；若干测试载具，其设置于测试板上，测试载具用于可拆卸地插接红外热电堆传感器；传送装置，其用于承载测试板；黑体，其设置于传送装置上方，黑体内设置有辐射源，辐射源用于产生设定温度；当传送装置带动测试板依次使各列测试载具对准辐射源；电压测量电路，其与若干测试载具电性连接，其用于测量与辐射源对准的一列测试载具中的各个红外热电堆传感器的输出电压；上位机，其基于电压测量电路测量到的红外热电堆传感器的输出电压，计算出该红外热电堆传感器的灵敏度指标。与现有技术相比，本实用新型可以在FT测试阶段对红外热电堆传感器进行批量且高可靠性的灵敏度测试。

【技术领域】

本实用新型涉及微机电系统器件的测试技术领域，尤其涉及一种红外热电堆传感器的量产测试装置。

【背景技术】

MEMS器件，是指具有微机电系统(Micro-Electro-Mechanical System，MEMS)，且尺寸仅有几毫米乃至更小的高科技电子机械器件，其加工工艺融合了光刻、腐蚀、薄膜、LIGA、硅微加工、非硅微加工和精密机械加工技术。目前，MEMS器件应用领域相当广泛，常见的产品例如MEMS加速度计、MEMS麦克风、MEMS光学传感器、MEMS压力传感器、MEMS陀螺仪、MEMS湿度传感器、MEMS气体传感器、MEMS红外热电堆传感器。对于红外热电堆(IR)传感器，现有技术中一般在量产出货阶段只对红外热电堆的电阻值进行测量，而无法对灵敏度特性进行高精度的实时批量测量，电阻值只能反映出产品的电气连接特性，并不能完全保证FT(Final Test)测试阶段所有IR产品输出特性的良好一致性，良品率在客户产品终端无法保障，限制了终端产品的可靠应用。

因此，亟需提出一种新的技术方案来解决上述问题。

【实用新型内容】

本实用新型的目的之一在于提供一种红外热电堆传感器的量产测试装置，其可以在FT测试阶段对红外热电堆传感器进行批量且高可靠性的灵敏度测试。

根据本实用新型的一个方面，本实用新型提供一种红外热电堆传感器的量产测试装置，其包括：测试板；若干测试载具，其设置于所述测试板上，所述测试载具用于可拆卸地插接红外热电堆传感器，当所述红外热电堆传感器插接在所述测试载具中时，所述红外热电堆传感器和所述测试板产生电连接；传送装置，其用于承载所述测试板，并将所述测试板沿传送方向运送；黑体，其设置于所述传送装置上方，所述黑体内设置有辐射源，所述辐射源用于产生设定温度Tset；当所述传送装置带动所述测试板沿传送方向移动并经过所述黑体下方时，依次使所述测试板上的各列测试载具对准所述黑体内的辐射源；电压测量电路，其与所述若干测试载具电性连接，其用于测量与所述辐射源对准的一列测试载具中的各个所述红外热电堆传感器的输出电压；上位机，其与所述电压测量电路通信连接，其基于所述电压测量电路测量到的所述红外热电堆传感器的输出电压，计算出该红外热电堆传感器的灵敏度指标。

与现有技术相比，本实用新型提供的红外热电堆传感器的量产测试装置，其可以在FT测试阶段对红外热电堆传感器进行批量且高可靠性的灵敏度测试，更好地保证出货良率，保障终端产品应用的可靠性。

【附图说明】

为了更清楚地说明本实用新型实施例的技术方案，下面将对实施例描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本实用新型的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动性的前提下，还可以根据这些附图获得其它的附图。其中：

图1为本实用新型在一个实施例中的红外热电堆传感器的量产测试装置的结构示意图；

图2为本实用新型在一个实施例中如图1所示的PCB测试板的结构示意图；

图3为本实用新型在一个实施例中的红外热电堆传感器的量产测试装置的电路示意图。

【具体实施方式】