[实用新型]一种柔性自动调节测试膜厚的专用治具有效

专利信息
申请号: 202122429763.6 申请日: 2021-10-09
公开(公告)号: CN216012122U 公开(公告)日: 2022-03-11
发明(设计)人: 陈亮;张宇;黄冈;陈峰磊;郑仲;聂洣佳 申请(专利权)人: 深圳市国科光谱技术有限公司
主分类号: G01B11/06 分类号: G01B11/06
代理公司: 北京慕达星云知识产权代理事务所(特殊普通合伙) 11465 代理人: 姜海荣
地址: 518109 广东省深圳市龙华*** 国省代码: 广东;44
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摘要:
搜索关键词: 一种 柔性 自动 调节 测试 专用
【说明书】:

实用新型公开了一种柔性自动调节测试膜厚的专用治具,其包括柔性调整底台、探头悬臂机构、工控电脑、压缩供气源及遮光罩,柔性调整底台包括安装座、多根顶针、橡胶球、安装气管及电磁气阀,安装气管为多组且均匀固定排列在安装座上,顶针动密封连接在安装气管的内部,橡胶球固定在顶针的顶部且位于安装气管的外侧,电磁气阀的一端连接压缩供气源,另一端通过进气管与安装气管连通,电磁气阀为多个且分别与工控电脑电信号连接控制其开闭,探头悬臂机构包括光路探头、悬臂、升降杆及伺服电机,悬臂水平连接在升降杆的顶部边缘,光路探头固定在悬臂的一端,伺服电机与工控电脑电信号连接,遮光罩适配盖设在安装座上,遮光罩的一侧开设观察口。

技术领域

本实用新型涉及一种光谱法测量膜面厚度的测试治具,具体涉及一种柔性自动调节测试膜厚的专用治具。

背景技术

使用光谱法测量阳极氧化涂层,需要将被测物表面与光路探头保证垂直且距离有一定要求,同时要求测试环境必须在一个不受外界光源干扰的环境下进行。由于被测物种类多,外形多样,被测物放置平面上会因为被测物的不规则形状导致被测面与光路探头不垂直,且距离不固定。

目前亚微米级阳极氧化涂层厚度测量装置使用的测试工装是铝合金台架,底台为支撑面,垂直固定杆通过螺纹固定在底台上,固定光路探头的悬臂通过螺丝固定在垂直固定杆上,人工调整悬臂的高度确保光路探头与被测物表面的距离,然后用螺丝锁紧,这种工装易受外界光源干扰,人工调节高度,被测物放置在底台上,当被测物为不规则异形件时不能保证被测面与光路探头垂直。

因此,如何提供一种方便固定不规则形状被测物且易于调节被测物面与探头垂直的柔性自动调节测试膜厚的专用治具是本领域技术人员亟需解决的问题。

实用新型内容

有鉴于此,本实用新型提供了一种柔性自动调节测试膜厚的专用治具,可以调节不规则被测物的测量面,抗干扰能力强。测量准确。

为了达到上述目的,本实用新型采用如下技术方案:一种柔性自动调节测试膜厚的专用治具,其包括柔性调整底台、探头悬臂机构、工控电脑、压缩供气源及遮光罩,所述柔性调整底台包括安装座、多根顶针、橡胶球、安装气管及电磁气阀,所述安装气管为多组且均匀固定排列在安装座上,所述顶针动密封连接在所述安装气管的内部,所述橡胶球固定在顶针的顶部且位于所述安装气管的外侧,所述电磁气阀的一端连接所述压缩供气源,另一端通过进气管与所述安装气管连通控制安装气管内部的充气量,所述电磁气阀为多个且分别与所述工控电脑电信号连接控制其开闭,所述探头悬臂机构包括光路探头、悬臂、升降杆及伺服电机,所述悬臂水平连接在所述升降杆的顶部边缘,所述光路探头固定在所述悬臂的一端,所述升降杆滑动连接在所述安装座上,所述伺服电机固定在所述安装座上且与所述升降杆传动连接带动其升降,所述伺服电机与所述工控电脑电信号连接,所述遮光罩适配盖设在所述安装座上,所述遮光罩的一侧开设观察口。

本实用新型的有益效果是:通过遮光罩盖设在安装座上,光路探头测量被测物时,避免外界光源干扰,保证测试环境,安装气管内动密封有顶针,顶针的顶部有橡胶球,橡胶球直接与被测物接触,避免损伤被测物,安装气管与压缩供气源连通供气,且通过电磁气阀的开闭控制不同安装气管内的进气量,进而实现顶针的升降,配合不规则被测物的形状。方便调节被测面与光路探头垂直,保证测试结果的准确性,工控电脑用于打开被测物的图形文件,配合调节顶针的位置匹配不规则被测物的外形。

优选的,还包括多个驱动板,多根所述顶针按照矩形排列布置,每根顶针分别适应动密封连接在安装气管内,对应每根所述安装气管均连通有一个电磁气阀,多个电磁气阀形成一个驱动单元,一个驱动单元与一个驱动板电信号连接,多个所述驱动板的MCU与所述电磁气阀电连接,所述驱动板通过RJ45网口与所述工控电脑电信号连接。

优选的,所述压缩供气源为气泵,且通过多通进气管与多个所述安装气管连通,所述电磁气阀分别一一对应连接在多通进气管的多个通路上。

优选的,所述顶针由纯铜材质制成。

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