[实用新型]一种PVD多工位旋转联动装置

权利要求书

1.一种PVD多工位旋转联动装置，其特征在于，包括：驱动连杆（2）、若干转动机构（1）和若干间距管（3）；

若干所述转动机构（1）和若干所述间距管（3）交错套接于所述驱动连杆（2）上；所述间距管（3）用于调整相邻两个所述转动机构（1）之间的间距；

所述转动机构（1）包括中心齿轮组件、传导组件和行星齿轮组件；

所述行星齿轮组件安装在所述传导组件上，且所述行星齿轮组件与所述中心齿轮组件联动；

所述驱动连杆（2）带动所述传导组件旋转；

所述传导组件带动所述行星齿轮组件绕所述中心齿轮组件公转，且所述行星齿轮组件在所述中心齿轮组件的限制下自转。

2.根据权利要求1所述的一种PVD多工位旋转联动装置，其特征在于：

所述中心齿轮组件包括第一齿轮环（132）、连接圆环（142）和若干第一螺钉；

所述第一齿轮环（132）和所述连接圆环（142）与所述驱动连杆（2）同轴线设置，所述驱动连杆（2）贯穿所述第一齿轮环（132）和所述连接圆环（142），且所述驱动连杆（2）与所述第一齿轮环（132）和所述连接圆环（142）之间设有间隙；

所述第一齿轮环（132）通过所述第一螺钉安装于所述连接圆环（142）上方。

3.根据权利要求2所述的一种PVD多工位旋转联动装置，其特征在于：

所述传导组件包括驱动遮挡罩（11）、环形板（12）、安装连接管（131）、若干第二螺钉和若干第三螺钉，所述驱动遮挡罩（11）、所述环形板（12）、所述安装连接管（131）均与所述驱动连杆（2）同轴线设置；

所述驱动遮挡罩（11）套接于所述驱动连杆（2）上；

所述环形板（12）顶部外缘与所述驱动遮挡罩（11）底部外缘之间通过所述第二螺钉连接，所述环形板（12）与所述驱动遮挡罩（11）之间形成圆形内腔；

所述安装连接管（131）上端伸入所述圆形内腔内与所述驱动遮挡罩（11）顶部中心处通过所述第三螺钉连接，所述安装连接管（131）下端向下伸出所述圆形内腔。

4.根据权利要求3所述的一种PVD多工位旋转联动装置，其特征在于：

所述安装连接管（131）外壁设有一圈第一滚珠槽；

所述第一齿轮环（132）内圈与所述连接圆环（142）连接处设有第一弧槽，所述连接圆环（142）对应所述第一弧槽的位置设有第二弧槽；

所述第一弧槽和所述第二弧槽组成与所述第一滚珠槽匹配的第二滚珠槽；

所述第一滚珠槽和所述第二滚珠槽之间设有若干滚珠（135）。

5.根据权利要求4所述的一种PVD多工位旋转联动装置，其特征在于：

所述第一齿轮环（132）外圈底部与所述连接圆环（142）顶部连接处的位置设有一圈避让槽，所述环形板（12）内圈处伸入所述避让槽内。

6.根据权利要求4所述的一种PVD多工位旋转联动装置，其特征在于：

所述间距管（3）上端与所述连接圆环（142）底部接触，所述间距管（3）下端与所述驱动遮挡罩（11）顶部滑动连接。

7.根据权利要求3所述的一种PVD多工位旋转联动装置，其特征在于：

所述行星齿轮组件包括若干第二齿轮环（133）；

每个所述第二齿轮环（133）中心处安装有一端开口设计的套接管（134）；

所述环形板（12）上设有与所述套接管（134）匹配的若干支撑柱（136）；

所述第二齿轮环（133）通过所述支撑柱（136）与所述套接管（134）的配合安装于所述环形板（12）上，且若干所述第二齿轮环（133）均与所述第一齿轮环（132）啮合；

所述驱动遮挡罩（11）上开设有与所述套接管（134）匹配的转孔，所述套接管（134）上端穿出所述转孔。

8.根据权利要求7所述的一种PVD多工位旋转联动装置，其特征在于：

所述支撑柱（136）与所述第二齿轮环（133）之间设有限位结构。