[实用新型]一种用于高真空工况的非金属垫片及密封系统

权利要求书

1.一种用于高真空工况的非金属垫片，其特征在于，所述非金属垫片呈环形结构，所述非金属垫片包括：

位于内侧的椭圆形部；

位于中部的连接部，所述连接部与所述椭圆形部相连接；

位于外侧的唇舌部，所述唇舌部包括第一唇舌部和第二唇舌部，所述第一唇舌部和所述第二唇舌部分别与所述连接部相连接，所述第一唇舌部和所述第二唇舌部之间具有夹角。

2.根据权利要求1所述的用于高真空工况的非金属垫片，其特征在于，所述唇舌部的沿所述环形结构的轴向方向上的尺寸大于所述椭圆形部的沿所述环形结构的轴向方向上的尺寸。

3.根据权利要求1所述的用于高真空工况的非金属垫片，其特征在于，所述椭圆形部的沿所述环形结构的轴向方向上的尺寸大于所述连接部的沿所述环形结构的轴向方向上的尺寸。

4.根据权利要求1所述的用于高真空工况的非金属垫片，其特征在于，所述椭圆形部的长轴方向沿所述环形结构的轴向设置。

5.根据权利要求1所述的用于高真空工况的非金属垫片，其特征在于，所述夹角为10°～30°。

6.一种用于高真空工况的密封系统，其特征在于，包括权利要求1至5中任意一项所述的用于高真空工况的非金属垫片，还包括：密封槽，所述非金属垫片设于所述密封槽内。

7.根据权利要求6所述的用于高真空工况的密封系统，其特征在于，包括：第一密封件和第二密封件，所述第一密封件上开设有第一密封槽，所述第二密封件上开设有第二密封槽，所述第一密封槽和所述第二密封槽合围形成所述密封槽。

8.根据权利要求7所述的用于高真空工况的密封系统，其特征在于，所述第一密封槽和所述第二密封槽的边缘均采用圆滑过渡。

9.根据权利要求7所述的用于高真空工况的密封系统，其特征在于，所述第一唇舌部与所述第一密封槽的槽底之间、所述第二唇舌部与所述第二密封槽的槽底之间形成第一道线密封；

所述椭圆形部的长轴方向上的两端与所述第一密封槽的槽底之间、所述第二密封槽的槽底之间形成第二道线密封；

所述椭圆形部的短轴方向上的侧面与所述第一密封槽的槽壁之间、所述第二密封槽的槽壁之间形成第三道线密封。