[实用新型]一种主被动组合式减振基座

说明书

本实用新型提供了一种主被动组合式减振基座，包括基座框体、支撑块、压电陶瓷、音圈电机、弹簧、橡胶和顶板，所述支撑块位于基座框体内部，所述支撑块底部与基座框体之间设有压电陶瓷，所述支撑块左右侧面、前后侧面与基座框体之间分别设有音圈电机和弹簧，所述支撑块上方中间设有橡胶，所述橡胶上方设有顶板。本实用新型采用大阻尼的橡胶结构作为被动减振装置，同时采用压电陶瓷、音圈电机在三个自由度上进行主动减振，主被动组合式实现基座减振，减振带范围宽，2~150Hz范围内有效减震可达90%以上。而且弹簧装置可以滤除基座负载谐振，无需调谐。该基座结构简单，控制方便，适用范围广，在负载达2T的情况下仍可以应用。

技术领域

本实用新型涉及隔振装置技术领域，具体是一种主被动组合式减振基座。

背景技术

目前半导体行业飞速发展，半导体生产设备的精度要求越来越高，设备对微振动等环境的要求也越来越敏感，少许的微振动就会降低设备的产出良率，甚至使设备不能正常工作，因此对微振动的隔离变得越来越重要。

隔振器能够直接当作是低通的滤波器，这种滤波器能够有效地滤除其固有频率以上的环境振动干扰，但是对于其固有频率附近的振动干扰的抑制效果较弱，甚至有时会出现因为共振现象而放大该振动幅值的现象。因此，为了系统在低频段获得更好的隔振效果，通常采用降低其固有频率的方法，从而避免在某些频率处发生共振。

然而如何使隔振器在能够较好隔离基台传递到负载的振动干扰的同时，还能够具有较好的定位精度，是一直需要解决的问题。

实用新型内容

实用新型的目的在于提供一种主被动组合式减振基座，以解决上述背景技术中存在的问题。

本实用新型的技术方案是这样实现的：

一种主被动组合式减振基座，包括基座框体、支撑块、压电陶瓷、音圈电机、弹簧、橡胶和顶板，所述支撑块位于基座框体内部，所述支撑块底部与基座框体之间设有压电陶瓷，所述支撑块左右侧面、前后侧面与基座框体之间分别设有音圈电机和弹簧，所述支撑块上方中间设有橡胶，所述橡胶上方设有顶板。

进一步地，所述支撑块上方设有三个速度传感器，三个速度传感器相互正交，分别用于采集上下、左右、前后三个自由度的速度信号。

进一步地，所述支撑块底部的压电陶瓷与支撑块侧面的两个音圈电机相互正交。

进一步地，所述支撑块与压电陶瓷之间设有解耦装置，所述支撑块与音圈电机之间设有解耦装置，所述支撑块与弹簧之间设有解耦装置。

进一步地，所述压电陶瓷、音圈电机、速度传感器均与数字控制器通过电缆连接。

进一步地，所述基座框体为矩形。

本实用新型的有益效果为：

本实用新型的主被动组合式减振基座采用大阻尼的橡胶结构作为被动减振装置，同时采用压电陶瓷、音圈电机在三个自由度上进行主动减振，主被动组合式实现基座减振，减振带范围宽，2~150Hz范围内有效减震可达90%以上。而且弹簧装置可以滤除基座负载谐振，无需调谐。该基座结构简单，控制方便，适用范围广，在负载达2T的情况下仍可以应用。

附图说明

图1为本实用新型主被动组合式减振基座的结构示意图。

图中1-基座框体，2-支撑块，3-压电陶瓷，4-音圈电机，5-弹簧，6-橡胶，7-顶板，8-速度传感器，91-解耦装置，92-解耦装置，93-解耦装置，10-数字控制器。

具体实施方式

下面将结合实施例对本实用新型技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述地实施例仅仅是本实用新型一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本实用新型中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本实用新型保护的范围。