[实用新型]密封组件

说明书

本实用新型提供了一种用于在双层嵌套的内腔体和外腔体之间进行密封隔绝的密封组件，包括法兰盘，所述法兰盘的内壁与所述内腔体的外壁之间形成一环形狭缝；第一密封部，对所述外腔体进行密封；第二密封部，包括至少3个对所述内腔体进行径向密封的密封件，相邻两个所述密封件与所述环形狭缝之间形成环形腔；真空管道，位于所述法兰盘上，与所述环形腔一一对应连通；真空测量装置，与所述真空管道一一对应。本实用新型通过在法兰盘上设置多个真空管道，避免了内腔体或外腔体内的流体发生互相泄漏导致的设备安全性问题，而且通过真空测量装置可以精准判断各密封件的使用情况，提高了密封组件的检修效率。

技术领域

本实用新型涉及密封装置领域，尤其涉及双层真空反应腔的密封组件。

背景技术

现有技术中，对于使用温度超过1100℃的高温真空石英反应腔而言，需要对石英腔进行冷却，常规做法是在石英反应腔外套设冷却腔体，因此，需要对双层高温真空反应腔进行密封，防止内、外腔内的流体发生相互泄漏。而石英反应腔无法使用金属密封，仅能通过橡胶密封。

现有技术一般使用一个O型圈对内、外腔内的流体泄漏进行密封，但只能达到简单密封，一旦O型圈损坏，内腔和外腔内的流体发生相互泄漏，会发生设备故障和损坏工艺的不良结果。

因此，有必要提供一种密封组件以解决上述的现有技术中存在的问题。

实用新型内容

本实用新型的目的在于提供一种密封组件，以解决现有技术中双层高温真空反应腔密封性不佳导致的设备安全性和工艺稳定性的问题。

为实现上述目的，本实用新型的所述一种密封组件，用于在双层嵌套的内腔体和外腔体之间进行密封隔绝，所述内腔体和所述外腔体均设有开口端，所述外腔体套设于所述内腔体外侧，所述外腔体和所述内腔体之间形成一空腔，包括：

法兰盘，包括第一端面、与所述第一端面相对的第二端面及位于第一端面和第二端面之间的侧壁，所述第一端面为环形接触面并与所述外腔体开口端配合接触，所述第一端面被所述内腔体的开口端穿过使得所述内腔体的开口端部分被所述侧壁包围，所述侧壁的内侧与所述内腔体的外壁之间形成一环形狭缝；

第一密封部，位于所述法兰盘的第一端面与所述外腔体的开口端之间；

第二密封部，包括至少3个密封件，位于所述法兰盘的侧壁内侧与所述内腔体的外壁之间，与所述法兰盘的内壁和所述内腔体外壁紧密贴合以实现对所述法兰盘和所述内腔体的径向密封，相邻两个所述密封件与所述环形狭缝之间形成环形腔；

真空管道，设置于所述法兰盘的侧壁中，与所述环形腔一一对应连通，用于通过抽真空装置将所述环形腔中的气体抽出；以及

真空测量装置，与所述真空管道一一对应。

本实用新型的所述密封组件的有益效果在于：

在法兰盘端面与外腔体端面之间设置第一密封部，对外腔体中的流体进行密封，在法兰盘内壁和内腔体外壁之间设置至少3个密封件，对法兰盘和内腔体进行多个径向密封，多个径向的密封件的配合大大提高了所述密封组件的密封性能，延长所述密封组件的使用寿命；多个径向的密封件之间形成多个环形腔，并在法兰盘侧壁上形成真空管道对环形腔进行抽真空处理，即使内腔体或外腔体内的流体发生泄漏，泄漏的流体会先进入环形腔而被抽真空装置排出，保证了内腔体与外腔体中的流体不会相互泄漏，解决了设备安全性和工艺稳定性的问题；在真空管道上对应设置真空测量装置，可以精准判断各密封件的使用情况，提高了密封组件的检修效率。

可选地，所述密封组件还包括真空控制组件，电连接于所述抽真空装置，用于将所述真空管道的压力控制在预设压力范围内。

可选地，所述密封组件还包括真空判断组件，电连接于所述真空测量装置，用于获取所述真空测量装置的读数，并根据所述读数与所述预设压力范围的差别来判断所述第二密封部的密封情况。