[实用新型]一种大尺寸超薄光学零件面形检测夹具

说明书

本实用新型提供了一种大尺寸超薄光学零件面形检测夹具，涉及夹具器械技术领域，解决了现有技术中存在的缺少配合卧式干涉仪检测光学零件的固定装置的技术问题。该大尺寸超薄光学零件面形检测夹具包括直立设置的夹具架，夹具架上具有用于放置超薄光学零件的容纳空间，夹具架的内壁围绕容纳空间设置有用于容纳超薄光学零件边缘的卡槽。本实用新型用于夹持大尺寸超薄光学零件进行面形检测，容纳空间可以放置超薄光学零件，卡槽容纳超薄光学零件边缘的方式，能有效的避免夹持等外力较大的方式严重影响超薄光学零件的面形。

技术领域

本实用新型涉及夹具器械技术领域，尤其是涉及一种大尺寸超薄光学零件面形检测夹具。

背景技术

面形误差检测是光学零件最核心的指标之一，也是所有光学系统中对最终使用性能产生影响最明显的指标之一。随着应用场景的不断深入，使得当下光学零件的面形指标要求越来越高，航天、军工等高端领域中甚至要求零件表面面形超过1/30波长(PV值)，即零件表面最高点和最低点的差异仅为21nm左右。在这样的背景下，零件面形准确检测尤为关键。

超薄零件由于长宽尺寸和厚度尺寸的比值大，加工和检测的难度都非常大。尤其是在检测过程中，微小的夹紧力都会使零件产生严重的微观变形，导致最终的检测结果严重失真，因此如何能够在保证安全的前提下，尽可能减少外部受力对超薄零件产生影响，这是超薄光学零件加工、检测过程中非常重要的一个内容。

当下检测超薄零件最主要的方法是采用立式干涉仪进行检测，即将零件平放在载物台上，从而零件只会受到自身重力的影响。但是由于立式干涉仪口径有限(目前常见的最大的平面立式干涉仪口径为直径200mm以内)，也就是说如果零件尺寸大于这个尺寸，通常只能采取卧式干涉仪检测，则原有方法就不能满足，而目前并没有相应的夹具来对光学零件进行固定，而夹持等外力较大的方式会严重影响超薄光学零件的面形。

为此就需要设计一种大尺寸超薄光学零件面形检测夹具，来配合卧式干涉仪使用，以解决目前缺少配合卧式干涉仪检测光学零件的固定装置的问题。

实用新型内容

本实用新型的目的在于提供一种大尺寸超薄光学零件面形检测夹具，解决了现有技术中存在的缺少配合卧式干涉仪检测光学零件的固定装置的技术问题。本实用新型提供的诸多技术方案中的优选技术方案所能产生的诸多技术效果详见下文阐述。

为实现上述目的，本实用新型提供了以下技术方案：

本实用新型提供的大尺寸超薄光学零件面形检测夹具，包括直立设置的夹具架，夹具架上具有用于放置超薄光学零件的容纳空间，夹具架的内壁围绕容纳空间设置有用于容纳超薄光学零件边缘的卡槽。

优选地，还包括调整架，所述夹具架设置在所述调整架上，所述调整架用于调节所述夹具架的倾斜状态。

优选地，所述夹具架为半框体结构。

优选地，半框体结构为半方形框体，半方形框体包括底边以及与底边的两端分别垂直连接的第一侧边和第二侧边，卡槽自第一侧边的顶端经由底边延伸至第二侧边的顶端。

优选地，半框体结构为半圆形框体，卡槽自半圆形框体的一端部延伸至半圆形框体的另一端部。

优选地，所述调整架包括固定板、调节板、弹簧以及调节旋钮，所述弹簧设置在所述固定板和所述调节板之间，所述调节旋钮包括旋钮以及螺栓，所述旋钮套设于所述螺栓的一端，所述螺栓的另一端贯穿所述调节板后作用在所述固定板上。

优选地，还包括铰接体，所述铰接体一端设置于所述固定板上，另一端与所述调节板铰接。

优选地，所述调节旋钮包括竖直旋钮和水平旋钮，所述竖直旋钮的所述螺栓贯穿所述调节板后作用在所述固定板上；

所述固定板上包括与所述调节板相对设置的抵紧块，所述水平旋钮的所述螺栓贯穿所述调节板后作用在所述抵紧块上。