[实用新型]一种晶片研磨液回收用于切屑液的装置

权利要求书

1.一种晶片研磨液回收用于切屑液的装置，包括处理箱(1)，其特征在于：所述处理箱(1)的上部设置有进料机构(2)，所述处理箱(1)的左右两内壁之间固定连接有滤板(5)，所述处理箱(1)的内部下侧固定连接有处理框(6)，所述处理箱(1)的右侧设置有净化机构(7)，所述处理箱(1)的前侧固定连接有封盖机构(13)，所述处理箱(1)的下部固定连接有支撑杆(12)，所述处理箱(1)的左侧固定连接有控制板(10)；

所述进料机构(2)由进料口(201)和连接软管(202)组成，所述连接软管(202)固定连接在处理箱(1)的上部，所述进料口(201)固定连接在连接软管(202)的上部，所述进料口(201)的左右两侧壁固定连接有升降杆(4)，所述升降杆(4)的下部固定连接有控制块(3)，所述控制块(3)的下部固定连接在处理箱(1)的上部。

2.根据权利要求1所述的一种晶片研磨液回收用于切屑液的装置，其特征在于：所述净化机构(7)由放置箱(701)和连接板(702)组成，所述放置箱(701)固定连接在处理箱(1)的右侧，所述连接板(702)固定连接在放置箱(701)的左侧，所述连接板(702)的右侧穿过处理框(6)的右侧。

3.根据权利要求1所述的一种晶片研磨液回收用于切屑液的装置，其特征在于：所述处理框(6)的右内壁固定连接有温度传感器(8)，所述处理框(6)的左右两外壁固定连接有加热板(9)。

4.根据权利要求1所述的一种晶片研磨液回收用于切屑液的装置，其特征在于：所述封盖机构(13)由前盖(1301)和排料管(1302)组成，所述前盖(1301)固定连接在处理箱(1)的前侧，所述排料管(1302)固定连接在前盖(1301)的前侧。

5.根据权利要求1所述的一种晶片研磨液回收用于切屑液的装置，其特征在于：所述进料口(201)为漏斗结构，且所述进料口(201)的下部设置有滤网。

6.根据权利要求1所述的一种晶片研磨液回收用于切屑液的装置，其特征在于：所述处理箱(1)左右两侧的下部固定连接有检测管(11)。

7.根据权利要求1所述的一种晶片研磨液回收用于切屑液的装置，其特征在于：所述处理箱(1)左右两侧的上部开设有散热孔。

8.根据权利要求1所述的一种晶片研磨液回收用于切屑液的装置，其特征在于：所述处理箱(1)的上部开设有进料槽，且所述进料槽的直径与连接软管(202)的直径相等。