[实用新型]一种用于硅部件清洗后的干燥机

说明书

本实用新型公开了一种用于硅部件清洗后的干燥机，包括干燥机本体、设于所述干燥机本体上用于放置硅部件的干燥槽，所述干燥槽上可拆卸设有用于容纳硅部件的容纳架，所述干燥槽上设有用于对所述容纳架上硅部件进行吹风干燥的干燥装置，所述干燥槽内底端设有用于带动所述容纳架上硅部件转动加快干燥的硅部件转动装置，所述硅部件转动装置包括设于所述干燥槽内底端上的转动座、可转动设于所述转动座上用于带动所述容纳架上硅部件转动进行干燥洗的转动辊、设于所述干燥机本体上用于驱动所述转动辊转动的转动驱动组件、设于所述干燥槽内底端上位于转动座两端用于放置所述容纳架并带动所述容纳架靠近所述转动辊或远离所述转动辊的升降放置架。

技术领域

本实用新型涉及半导体技术领域，具体涉及一种用于硅部件清洗后的干燥机。

背景技术

用于作为芯片刻蚀的硅部件在研磨、抛光，刻蚀等工艺加工表面会有残留物，或脏污，如不及时去清洗会残留在表面导致最终无法去除，导致产品清洁度不良，从而影响芯片刻蚀机轰击芯片的刻蚀效果。所以需要对硅部件进行清洗，清除其表面附着的不需要的物质，保证其洁净纯度。硅部件在清洗槽清洗完毕后需要送至干燥机进行吹风风干，但是硅部件置于传统干燥机中时，在与干燥机接触位置会造成一些水渍的堆积，而使得干燥效果不理想。因此需要一种能有效干燥硅部件的干燥机。

实用新型内容

因此，针对上述的问题，本实用新型提出一种用于硅部件清洗后的干燥机。

为实现上述目的，本实用新型的技术方案是提供了一种用于硅部件清洗后的干燥机，包括干燥机本体、设于所述干燥机本体上用于放置硅部件的干燥槽，所述干燥槽上可拆卸设有用于容纳硅部件的容纳架，所述干燥槽上设有用于对所述容纳架上硅部件进行吹风干燥的干燥装置，所述干燥槽内底端设有用于带动所述容纳架上硅部件转动加快干燥的硅部件转动装置，所述硅部件转动装置包括设于所述干燥槽内底端上的转动座、可转动设于所述转动座上用于带动所述容纳架上硅部件转动进行干燥洗的转动辊、设于所述干燥机本体上用于驱动所述转动辊转动的转动驱动组件、设于所述干燥槽内底端上位于转动座两端用于放置所述容纳架并带动所述容纳架靠近所述转动辊或远离所述转动辊的升降放置架。

进一步改进的是：所述干燥装置装置包括可转动设于所述干燥槽上的干燥转动杆、设于所述干燥机本体上用于驱动所述干燥转动杆转动的干燥转动电机、至少一组固定设于所述干燥转动杆上与外部气泵连接用于将外部气泵吹入的气流吹向容纳架上硅部件的吹气装置。

进一步改进的是：所述吹气装置包括固定设于所述干燥转动杆上的干燥连接杆、设于所述干燥连接杆上与外部气泵连接用于改变气流方向的万向竹节管、设于所述万向竹节管输出端的吹风喷嘴。

进一步改进的是：所述转动驱动组件包括用于驱动所述转动辊转动的转动电机、设于所述转动辊与所述转动电机之间用于改变所述转动电机转动方向的伞齿轮传动组。

进一步改进的是：所述升降放置架包括至少两个设于所述干燥槽内底端上的防水电动伸缩杆、设于所述防水电动伸缩杆输出端上的用于支撑所述容纳架的干燥放置杆。

进一步改进的是：所述容纳架上设有至少两个用于支撑硅部件的支撑杆，所述支撑杆可移动设于所述容纳架上以适用不同规格的硅部件。

进一步改进的是：所述容纳架上设有一对供所述支撑杆移动的支撑移动槽，所述支撑杆两端螺纹连接有用于将所述支撑杆固定于所述支撑移动槽上的支撑固定帽。

进一步改进的是：所述容纳架上位于所述支撑移动槽一侧设有用于确定所述支撑杆在所述支撑移动槽上移动距离的支撑刻度尺。

进一步改进的是：所述支撑杆上设有若干个用于在多个硅部件同时置于所述支撑杆上将硅部件隔开的支撑隔开板。

进一步改进的是：所述容纳架两端设有用于分别定位所述硅部件侧边的定位装置。