[实用新型]晶圆测试设备

权利要求书

1.一种晶圆测试设备，其特征在于，包括探针清洁机构(1)、工作台(2)和晶圆吸盘(3)，所述晶圆吸盘(3)安装于所述工作台(2)上；

所述探针清洁机构(1)包括：基座(100)、升降机构和清针组件；所述升降机构安装于所述基座(100)，所述升降机构与所述清针组件传动连接，用于驱动所述清针组件相对于所述基座(100)做升降运动；

所述基座(100)安装于所述工作台(2)的一侧，所述工作台(2)驱动所述探针清洁机构(1)沿X轴、Y轴和Z轴运动。

2.根据权利要求1所述的晶圆测试设备，其特征在于，所述升降机构包括升降气缸(201)，所述升降气缸(201)与所述清针组件传动连接。

3.根据权利要求2所述的晶圆测试设备，其特征在于，所述升降机构还包括直线导轨(202)和滑块(203)；

所述直线导轨(202)安装于所述基座(100)，所述滑块(203)安装于所述清针组件，并与所述直线导轨(202)滑动配合。

4.根据权利要求3所述的晶圆测试设备，其特征在于，所述升降气缸(201)的两侧均设有所述直线导轨(202)，所述直线导轨(202)的两端分别安装有限位块。

5.根据权利要求3所述的晶圆测试设备，其特征在于，所述清针组件包括清针板底座(300)、清针板吸盘(400)和清针板(500)；

所述清针板底座(300)与所述升降气缸(201)的活塞杆连接，所述滑块(203)固定安装于所述清针板底座(300)；

所述清针板吸盘(400)通过调节组件安装于所述清针板底座(300)，所述清针板(500)通过真空吸附于所述清针板吸盘(400)上。

6.根据权利要求5所述的晶圆测试设备，其特征在于，所述清针板底座(300)包括底板(301)和支座(302)，所述支座(302)设置在所述底板(301)下端，所述底板(301)与所述升降气缸(201)的活塞杆连接。

7.根据权利要求6所述的晶圆测试设备，其特征在于，所述调节组件包括多个调节螺钉(600)，多个所述调节螺钉(600)安装于所述底板(301)上端面的四角区域。

8.根据权利要求1-7任一所述的晶圆测试设备，其特征在于，所述探针清洁机构(1)还包括限位组件，所述限位组件安装于所述基座(100)且与所述清针组件相对设置，所述限位组件能相对于所述清针组件转动，以将所述清针组件定位于清洁位置和使所述清针组件运动至初始状态。

9.根据权利要求8所述的晶圆测试设备，其特征在于，所述限位组件包括摆动气缸(701)和限位轴(702)；

所述摆动气缸(701)安装于所述基座(100)，所述限位轴(702)与所述基座(100)转动连接，所述限位轴(702)的一端与所述摆动气缸(701)的转轴连接，所述清针组件上设有第一限位结构，所述限位轴(702)上设有第二限位结构，所述第一限位结构与所述第二限位结构配合对所述基座(100)进行限位。

10.根据权利要求9所述的晶圆测试设备，其特征在于，所述第一限位结构包括条形通孔(800)，所述第二限位结构包括条形凸台(900)，所述条形凸台(900)设置在所述限位轴(702)远离所述摆动气缸(701)的一端，所述条形凸台(900)的长度小于所述条形通孔(800)的长度，且大于所述条形通孔(800)的宽度。