[实用新型]一种硅料清洗篮筐校正装置

说明书

一种硅料清洗篮筐校正装置，包括固定板，滚轮支架，转轴，校正滚轮，所述校正滚轮为圆环形，转轴通过校正滚轮的中心，校正滚轮的内圆与转轴的外表面相切合，校正滚轮可延转轴做圆周运动，转轴两端分别与滚轮支架固定连接，所述滚轮支架下端固定安装于固定板上，固定板用于与槽体平台固定连接。本实用新型的硅料清洗篮筐校正装置将市面上常用的四个位置校正加装到八个位置校正，提高位置校准精度；采用校正滚轮进行校准，有效改善原有固定校准机制的损坏率，有效降低维修工时，提高整个设备的运行能力。

技术领域

本实用新型涉及硅料技术领域，尤其涉及一种硅料清洗篮筐校正装置领域。

背景技术

硅广泛的应用在半导体行业中，在日常生产时具有很高的洁净度要求，并且会产生很多的废料，为了不浪费原料，都会使用清洗机洗去杂质，再次回收利用。日常的单晶硅与多晶硅生产中，人们不仅对生产车间环境和生产设备的洁净度有着非常高的要求，同时对生产原料同样保持着相对高的要求。可以说环境和原料的洁净度是至关重要的条件之一，车间环境和设备的洁净度需要工人清洁打扫，硅料则需要专业的设备来进行清洗。硅料表面的污染物会严重影响产品的可靠性、性能、和成品率。随着人们对原料要求的提高和微电子技术的发展，器件由于污染物导致的影响也愈加突出。硅料清洗技术毫无疑问成了半导体工艺以及硅材料加工的关键领域。

硅料的清洗用到硅料篮筐，清洗硅料时，通过机械臂将篮筐放入槽内，固定的槽体校正装置具备固定的校准能力。现有设备的篮筐校正装置有两种，附图1和附图2为现有技术一的结构示意图，4个校正装置1固定设置在槽体平台2的的四个角，附图3和附图4为现有技术二的结构示意图，4个校正装置1固定设置在槽体平台2的的两侧边，由上述附图所示，现有的校正装置均为固定校正模式，均有4个位置校正，设计比较单一，由PVDF(J聚偏氟乙烯)材质和不锈钢材质焊接而成，固定结构模式，粗略校正篮筐，实际操作时存在的问题是，当放置位置与标准位置偏差较大时，篮筐就会放置倾斜，且校正装置无法将篮筐校正，此时机械臂再次抓筐就会发生压筐或掉筐的事故。筐体长时间放置倾斜还会造成焊接校正装置损坏脱落，维修难度量较大且焊接难度大(位置偏移)，失去校准功能，极大的增加设备运行隐患，减少设备运行时间。

实用新型内容

本实用新型的目的在于提供一种硅料清洗篮筐校正装置，以解决现有设备的篮筐校正装置校正精准度差、运行故障率较高、校正装置损毁率较高等技术问题。

本实用新型所解决的技术问题可以采取以下方案来实现：一种硅料清洗篮筐校正装置，其特征在于：包括固定板，滚轮支架，转轴，校正滚轮，所述校正滚轮为圆环形，转轴通过校正滚轮的中心，校正滚轮的内圆与转轴的外表面相切合，校正滚轮可延转轴做圆周运动，转轴两端分别与滚轮支架固定连接，所述滚轮支架下端固定安装于固定板上，固定板用于与槽体平台固定连接。

较佳的是，所述校正滚轮为轴承。

较佳的是：所述校正滚轮为陶瓷材料。

较佳的是：所述滚轮支架通过螺钉固定于固定板上。

较佳的是：所述滚轮支架、固定板、转轴均外包外包防水防酸材料。

较佳的是：所述槽体平台上装配有八个校正装置，用来校正清洗篮筐。

较佳的是：所述八个校正装置分成四组，分别校正清洗篮筐的四个角的位置。

本实用新型的硅料清洗篮筐校正装置将市面上常用的四个位置校正加装到八个位置校正，提高位置校准精度；采用校正滚轮进行校准，有效改善原有固定校准机制的损坏率，有效降低维修工时，提高整个设备的运行能力。

附图说明

为了更清楚地说明本实用新型实施例中的技术方案，下面将对实施例描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本实用新型的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。