[实用新型]一种新型运料装置

说明书

本实用新型提供一种新型运料装置，包括：可移动的托板；在所述托板上设有用于放置复投筒的放料台；以及用于控制所述放料台移动的驱动件；所述放料台可承载若干所述复投筒并被所述驱动件带动，以使每一所述复投筒在同一位置处依次被提起进入单晶炉中进行装料。本实用新型运料装置，结构设计合理，可提高装料筒的数量，不仅运输安全且自动程度高，亦增加了单次的投料量，节约多次返回运输装料筒的时间，提高装料效率。

技术领域

本实用新型属于半导体单晶硅棒加工辅助设备技术领域，尤其是涉及一种新型运料装置。

背景技术

中国公开专利CN208857393U一种单晶硅块复投器自动配料车和CN210971231U一种复投车，均提供一种双排倾斜放置的复投筒运输放料车；中国公开专利CN204874825U一种单晶炉复投料推车和CN208562598U一种单晶复投车，均提出一种单个竖直放置并倾斜运输的复投桶的运输小车。无论是单排结构还是双排结构的这类倾斜运输的小车，这种结构的运输小车在移动运输中每次复投时所有复投筒的数量有限；同时由于受单晶炉的炉筒本身高度的限制，复投筒的长度较短，每个复投筒的装料数量有限，严重影响投料量；这样就导致每次复投装满石英坩埚，就需要多次往返运输，以满足一次复投所需总重量。还有，这种结构的移动小车，在复投提筒入炉时，需要人工调整小车的位置，以使每个复投筒与单晶炉的位置对应；同时还需人员手动扶正料筒，使其被吊车吊起，不仅效率低，而且安全性差，严重制约复投拉晶效率。

实用新型内容

本实用新型提供一种新型运料装置，尤其是适用于硅料复投筒的运输，解决了现有技术中运输数量有限且运输工时延长的技术问题。

为解决上述技术问题，本实用新型采用的技术方案是：

一种新型运料装置，包括：

可移动的托板；

在所述托板上设有用于放置复投筒的放料台；以及

用于控制所述放料台移动的驱动件；

所述放料台可承载若干所述复投筒并被所述驱动件带动，以使每一所述复投筒在同一位置处依次被提起进入单晶炉中进行装料。

进一步的，所述托板为方形结构，在所述托板上端面设有圆型结构的凹槽，所述凹槽位于所述托板中心位置处。

进一步的，所述放料台，包括：

设置于所述凹槽中心位置的柱轴；以及

若干沿所述凹槽径向均匀分布的放置槽；

其中，所述放置槽通过连杆与所述柱轴连接设置；

所述驱动件通过所述柱轴可带动所述放置槽沿所述凹槽径向旋转，并可带动所述放置槽沿所述柱轴的高度方向上下移动。

进一步的，所述放置槽的数量至少有两个。

进一步的，所述放置槽为筒柱型结构；或者

若干个交叉设置的U型板材所围成的槽体结构。

进一步的，所述驱动件与所述柱轴同轴设置；

所述驱动件被设置于所述柱轴上端；或者

被设置于所述托板下端面。

进一步的，在其正上方还设有与其结构相适配的固定板；

所述固定板通过设置在所述托板周缘的立柱与所述托板连接。

进一步的，所述固定板设有与所述凹槽同轴设置的通孔，所述通孔内壁设有与其滑动配合的环形盘。

进一步的，在所述环形盘内侧设有若干卡槽，所述卡槽与所述复投筒外壁面配合；

所述卡槽数量与所述放置槽相适配；