[实用新型]热控压印头及使用热控压印头的压印设备有效
申请号: | 202121615854.2 | 申请日: | 2021-07-15 |
公开(公告)号: | CN215494539U | 公开(公告)日: | 2022-01-11 |
发明(设计)人: | 陈燕平;偰正才;阮双琛;翟剑庞;黄志睦 | 申请(专利权)人: | 深圳技术大学 |
主分类号: | G03F7/00 | 分类号: | G03F7/00 |
代理公司: | 深圳市力道知识产权代理事务所(普通合伙) 44507 | 代理人: | 张传义 |
地址: | 518118 广东省深*** | 国省代码: | 广东;44 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 压印 使用 设备 | ||
本申请公开了一种热控压印头及使用热控压印头的压印设备,所述热控压印头包括压印部件、加热部件、控制器、隔热件和固定件;压印部件设有至少一个安装孔,压印部件的一端部用于与压印设备的印版接触;加热部件设置在安装孔内,并与压印部件导热性接触;控制器设置在压印部件上并与加热部件电性连接,用于控制加热部件对压印部件进行加热;隔热件设置在压印部件的另一端部;固定件与隔热件连接,固定件设置在压印设备上;在热控压印头工作时,通过控制器控制加热部件进行加热,压印设备驱动热控压印头对印版施加压力并运动以实现刮印,以将印版上的亚微米级的图案压印到基片上的压印胶上,由此实现了亚微米级精度的大面积压印。
技术领域
本申请涉及印刷技术领域,尤其涉及一种热控压印头及使用热控压印头的压印设备。
背景技术
纳米压印技术使用机械手段进行图案转移,具有分辨率高、易量产、成本低和工艺简单的优点,是纳米尺寸电子器件的重要制作技术,在硅场效应管、纳米机电系统、微波集成电路、纳米电子器件,纳米集成电路、量子存储器件、光子晶体阵列和OLED平板显示阵列等领域有着广泛的应用。纳米压印技术虽然精度较高,但是压印面积较小,效率较低,同时现有的纳米压印都是基于纳米压印设备实现的,因此纳米压印设备的压印头无法实现亚微米级精度的大面积压印。
实用新型内容
本申请提供了一种热控压印头,旨在解决纳米压印技术中压印面积较小,效率较低的问题,实现了亚微米级精度的大面积压印,提高了用户体验。
第一方面,本申请实施例提供一种热控压印头,应用于压印设备,所述热控压印头包括压印部件、加热部件、控制器、隔热件和固定件;所述压印部件设有至少一个安装孔,所述压印部件的一端部用于与所述压印设备的印版接触;所述加热部件设置在所述安装孔内,并与所述压印部件导热性接触;所述控制器与所述加热部件电性连接,用于控制所述加热部件对所述压印部件进行加热;所述隔热件设置在所述压印部件的另一端部;所述固定件与所述隔热件连接,所述固定件设置在所述压印设备上;在所述热控压印头工作时,通过所述控制器控制所述加热部件进行加热,并控制所述压印部件的温度在预设温度范围内,所述压印设备驱动所述热控压印头对所述印版施加压力并运动以实现刮印,以将所述印版上的亚微米级的图案压印到基片上的压印胶上。
在一可选的实施例中,至少一个所述安装孔靠近所述压印部件的一端部设置,所述一端部用于与所述压印设备的印版接触。
在一可选的实施例中,所述压印部件设有至少两个安装孔,所述至少两个安装孔设置在所述压印部件的两侧。
在一可选的实施例中,所述固定件包括夹持部,所述夹持部用于夹持所述压印设备的丝网印刷机本体,以使所述热控压印头与所述压印设备的丝网印刷机本体可拆卸连接。
在一可选的实施例中,所述压印部件的一端部为接触部,所述接触部用于与所述印版接触,其中,所述接触部呈预设倾角设置。
在一可选的实施例中,所述接触部为线性接触部,所述压印部件与所述印版接触为线性接触。
在一可选的实施例中,所述安装孔为开孔或盲孔。
在一可选的实施例中,所述压印部件还包括温度传感器,与所述控制器连接,用于检测所述压印部件的温度。
在一可选的实施例中,所述热控压印头还包括电源电路,与所述加热部件电性连接,用于为所述加热部件供电;执行器,与所述控制器和所述电源电路连接;当所述控制器发送加热指令给所述执行器时,所述执行器控制所述电源电路为所述加热部件供电,以使所述加热部件进行加热;当所述控制器发送冷却指令给所述执行器时,所述执行器控制所述电源电路停止为所述加热部件供电,以使所述加热部件停止加热。
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