[实用新型]研磨介质回收装置

权利要求书

1.一种研磨介质回收装置，其特征在于，所述研磨介质回收装置包括：外壳(100)和喷淋机构，所述外壳(100)内沿上下方向依次设置有第一过滤结构(210)和第二过滤结构(220)；所述喷淋机构用于对第一过滤结构(210)上的研磨介质喷淋溶剂，所述第一过滤结构(210)用于将预保留介质与杂质分离，所述第二过滤结构(220)用于将杂质与溶剂分离。

2.根据权利要求1所述的研磨介质回收装置，其特征在于，所述研磨介质回收装置包括循环系统，所述循环系统包括回收池(300)，所述喷淋机构包括循环泵(500)，所述外壳(100)上设置有位于所述第二过滤结构(220)下方的出液口，所述回收池(300)用于接收所述出液口排出的溶剂；所述循环泵(500)的进液口位于所述回收池(300)的液面下方，所述循环泵(500)的出液口与外壳(100)连接。

3.根据权利要求2所述的研磨介质回收装置，其特征在于，所述回收池(300)底面相对于水平面倾斜，所述循环泵(500)的进液口位于所述回收池(300)的最深位置处。

4.根据权利要求2所述的研磨介质回收装置，其特征在于，所述研磨介质回收装置还包括加热机构，所述加热机构用于对回收池(300)内的溶剂进行加热。

5.根据权利要求4所述的研磨介质回收装置，其特征在于，所述加热机构包括加热槽(400)，所述回收池(300)位于所述加热槽(400)内，所述加热槽(400)的内壁与所述回收池(300)的内壁之间具有间隙，所述加热槽(400)内填充有导热溶液，所述导热溶液用于加热回收池(300)。

6.根据权利要求4所述的研磨介质回收装置，其特征在于，所述研磨介质回收装置还包括行进机构，所述外壳(100)和加热机构均位于所述行进机构上。

7.根据权利要求1－6任意一项所述的研磨介质回收装置，其特征在于，所述第一过滤结构(210)包括沿上下方向依次间隔设置的多层过滤层，上下相邻两个过滤层中，靠上的过滤层的过滤孔孔径大于靠下的过滤层的过滤孔孔径。

8.根据权利要求1－6任意一项所述的研磨介质回收装置，其特征在于，所述研磨介质回收装置还包括振动机构，所述振动机构用于分别与第一过滤结构(210)和第二过滤结构(220)连接，用于振动第一过滤结构(210)和第二过滤结构(220)。

9.根据权利要求1－6任意一项所述的研磨介质回收装置，其特征在于，所述溶剂为油墨蜡水。

10.根据权利要求1－6任意一项所述的研磨介质回收装置，其特征在于，所述外壳上设置有第一进出口和第二进出口，所述第一进出口位于所述第一过滤结构(210)的上方，所述第二进出口位于所述第一过滤结构(210)和第二过滤结构(220)之间。