[实用新型]校准片

说明书

本申请公开了一种校准片，所述校准片包括校准片本体以及至少一个校准标记，所述校准片本体设有定位缺口，所述校准标记包括直角阵列和校准点阵列中的至少一个，所述校准点阵列包括至少一个校准点标记。所述校准标记设置在所述校准片上的特定位置，在通过所述校准片对所述探测器进行校准时，所述校准片在所述承载装置的带动下转动，所述探测器采集所述校准片的图像，并确定所述校准片上的所述校准标记的位置，当多个所述探测器确定所述校准标记在所述校准片上的相对位置相同时，完成对所述探测器的位置校准过程，因此，通过校准片本体上的校准标记与定位缺口组合使用的方式，快速完成对多个所述探测器的位置校准过程，并且提高了探测器的校准效率。

技术领域

本申请涉及检测技术领域，尤其涉及一种校准片。

背景技术

为了方便对晶圆表面的缺陷进行检测，现有的检测设备通常需要通过多个探测器共同使用对晶圆的表面进行检测，但是在使用多个探测器时，每个探测器在检测晶圆表面上相同的缺陷，探测器记录的晶圆的位置坐标可能不一致，从而导致不同探测器的检测结果不一致的问题，现有技术中，当探测器的数量越多时，对探测器的校准难度越大，从而降低了检测设备的检测效率。

实用新型内容

本申请实施例提供一种校准片。

第一方面，本申请实施例提供一种校准片，所述校准片包括校准片本体以及至少一个校准标记，所述校准片本体设有定位缺口，所述校准标记包括直角阵列和校准点阵列中的至少一个，所述校准点阵列包括至少一个校准点标记。

可选的，所述校准片包括多个所述校准标记，多个所述校准标记沿周向均匀间隔分布。

可选的，所述校准片包括多个所述校准标记，多个所述校准标记沿第一方向以及沿第二方向均匀间隔分布。

可选的，所述直角阵列包括两个线段标记，其中一个所述线段标记沿第三方向延伸，另一个所述线段标记沿第四方向延伸，所述第三方向与所述第四方向相互垂直。

可选的，所述校准点阵列包括多个校准点标记，所述校准点阵列沿第一方向包括n个校准点标记，沿第二方向包括m个校准点标记，所述n与所述m均为正整数。

可选的，所述校准点阵列沿第一方向的校准点标记的个数与沿第二方向的校准点标记的个数相等。

可选的，所述校准点阵列沿第一方向的校准点标记的个数为奇数，所述校准点阵列沿第二方向的校准点标记的个数为奇数。

可选的，每个所述校准标记包括一个校准点阵列以及一个所述直角阵列，所述校准点阵列的中心位置与其对应的所述直角阵列的中心位置重合。

可选的，所述校准片的中心位置包括所述校准标记，所述校准标记只包括所述直角阵列。

可选的，所述校准标记通过刻蚀的方式标记在所述校准片本体上。

可以看出，本申请提出一种校准片，所述校准片包括校准片本体以及至少一个校准标记，所述校准片本体设有定位缺口，所述校准标记包括直角阵列和校准点阵列中的至少一个，所述校准点阵列包括至少一个校准点标记。所述校准标记设置在所述校准片上的特定位置，在通过所述校准片对所述探测器进行校准时，所述校准片在所述承载装置的带动下转动，所述探测器采集所述校准片的图像，并确定所述校准片上的所述校准标记的位置，当多个所述探测器确定所述校准标记在所述校准片上的相对位置相同时，完成对所述探测器的位置校准过程，因此，通过所述校准片，能够快速的完成对多个所述探测器的位置校准过程，并且提高了探测器的校准效率。

附图说明

为了更清楚地说明本申请实施例或现有技术中的技术方案，下面将对实施例或现有技术描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本申请的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。