[实用新型]一种单向自锁酸洗阀

说明书

本实用新型提供一种单向自锁酸洗阀，安装在主管道上，可以在管道内无酸性液体通过时，自动锁阀；包括气缸组件，阀座组件和管道；所述气缸组件包括气缸和设置在所述气缸内部的活塞，所述活塞与所述气缸共轴垂直设置；所述阀座组件包括设置在所述气缸正下方的阀座和设置在所述阀座内部的阀芯；所述阀芯与所述活塞共轴设置；所述活塞连接阀芯，通过阀体内的压力，控制阀芯垂直上下运动，控制阀呈现打开或关闭状态；还设置有自锁弹簧；所述自锁弹簧套设在所述活塞的外表面；所述管道水平贯穿设置在阀座上；本实用新型的有益效果：实现管道内无酸性液体通过时，自动锁阀，防止酸性液体流出，以防酸性液体造成损伤。

技术领域

本实用新型主要涉及半导体清洗技术领域，尤其涉及一种单向自锁酸洗阀。

背景技术

随着科学技术的飞速发展，清洗在半导体中起到桥梁作用，但是在使用时会遇到以下几个问题：1、当设备断电或发生意外时，阀无法自动恢复，并锁住酸；2、容易造成酸的回流问题；3、酸属于危险品，对人生存在很大的伤害等一系列问题。

实用新型内容

针对现有技术的上述缺陷，本实用新型提供一种单向自锁酸洗阀，安装在主管道上，可以在管道内无酸性液体通过时，自动锁阀。

本实用新型提供一种单向自锁酸洗阀，包括气缸组件，阀座组件和管道6；

所述气缸组件包括气缸1和设置在所述气缸1内部的活塞2，所述活塞2与所述气缸1共轴垂直设置；

所述阀座组件包括设置在所述气缸1正下方的阀座3和设置在所述阀座3内部的阀芯4；所述阀芯4与所述活塞2共轴设置；所述活塞2连接阀芯4，通过阀体内的压力，控制阀芯4垂直上下运动，控制阀呈现打开或关闭状态；

还设置有自锁弹簧5；所述自锁弹簧5套设在所述活塞2的外表面；当阀体内无酸性液体进入时，自锁弹簧5控制阀芯4复位，使阀呈关闭状态；

所述管道6水平贯穿设置在阀座3上。

优选的，所述气缸1顶部还设置有气缸盖11，底部还设置有气缸座12；所述气缸盖11与气缸座12均通过垂直贯穿设置的螺栓与所述气缸1固定连接。

优选的，所述螺栓设置有多个，多个所述螺栓呈圆周均布在所述气缸组件周围。

优选的，所述阀座3内部还设置有阀座固定块31；所述阀座固定块31呈凸台状设置在所述阀座3内部。

优选的，所述阀座固定块31上还设置有阀芯固定孔32；所述阀芯固定孔32设置在所述阀芯4的正下方。

优选的，所述阀座3两侧还设置有与管道6配合的通孔；所述阀座固定块31侧面也设置有与管道6配合的通孔。

优选的，还包括底座7；所述底座7固定设置在所述阀座的底部。

本实用新型的有益效果：实现管道内无酸性液体通过时，自动锁阀，防止酸性液体流出，以防酸性液体造成损伤。

附图说明

图1为本实用新型结构示意图；

图2为本实用新型正视图；

图3为图2剖视图；

图4为阀座结构示意图；

图5为阀座俯视图；

图中，

1、气缸，11、气缸盖，12、气缸座；2、活塞；3、阀座，31、阀座固定块，32、阀芯固定孔；4、阀芯；5、自锁弹簧；6、管道；7、底座。

具体实施方式

下面结合附图对本实用进行详细描述，本部分的描述仅是示范性和解释性，不应对本实用新型的保护范围有任何的限制作用。