[实用新型]一种高精度压力调节阀

权利要求书

1.一种高精度压力调节阀，其特征在于：包括壳体，壳体的出口端中间开有的通孔，壳体设置有阀座，阀座的中间开有通孔，阀座的一侧设有压电陶瓷堆栈，压电陶瓷堆栈外侧设有平板弹簧压杆，压电陶瓷堆栈的一端与阀座相接触，压电陶瓷堆栈的另一端与平板弹簧压杆的内侧相接触，平板弹簧压杆的杆状部开有通孔，平板弹簧压杆的端部也开有通孔，平板弹簧压杆的杆状部外还套装有阀杆套圈，环状的密封件通过压装设置在阀杆套圈内，密封件压紧件与阀杆套圈连接并压紧密封件，介质入口组件与壳体连接并压紧平板弹簧压杆。

2.如权利要求1所述的一种高精度压力调节阀，其特征在于：所述的壳体为筒状结构。

3.如权利要求1所述的一种高精度压力调节阀，其特征在于：所述的阀座为环形的板状结构，阀座的一侧的外缘处为环形凸起。

4.如权利要求1所述的一种高精度压力调节阀，其特征在于：所述的阀座的中间开有阶梯状通孔。

5.如权利要求1所述的一种高精度压力调节阀，其特征在于：所述的平板弹簧压杆的杆状部上还开有与杆状部轴线项垂直的通孔。

6.如权利要求5所述的一种高精度压力调节阀，其特征在于：所述的通孔为两个并且垂直布置在平板弹簧压杆的杆状部上。

7.如权利要求1所述的一种高精度压力调节阀，其特征在于：所述的阀杆套圈与平板弹簧压杆的杆状部通过螺纹连接。

8.如权利要求1所述的一种高精度压力调节阀，其特征在于：所述的压电陶瓷堆栈通过压电陶瓷正极电缆穿过壳体侧壁面的小孔引出阀门。

9.如权利要求1所述的一种高精度压力调节阀，其特征在于：所述的压电陶瓷堆栈通过压电陶瓷负极电缆穿过壳体侧壁面的小孔引出阀门外。

10.如权利要求8所述的一种高精度压力调节阀，其特征在于：所述的压电陶瓷正极电缆通过胶水与壳体粘接。