[实用新型]一种基于T型气浮导轨的运动平台

说明书

本实用新型涉及基于T型气浮导轨的运动平台，包括平台基板和底座，底座设在平台基板上端面，底座上设置有第一气浮块，第一气浮块和底座之间气浮连接且在底座上滑动，第一气浮块的一侧连接有导轨且与其相联动，底座和导轨为T型结构连接，导轨上设置有第二气浮块，第二气浮块上连接有载物平台，导轨上和导轨的两端均设置有直线电机，第一气浮块和第二气浮块均为真空预压式气浮滑块；第二气浮滑块在导轨上直线电机的带动下带动载物平台在X方向上运动时，第一气浮滑块在导轨两端直线电机的带动下带动导轨在Y方向上运动，两端的直线电机共同带动导轨在Y方向运动，在载荷较大、行程较远的情况下，保证直线运动的精密，同时也能承载较大重量物品。

技术领域

本实用新型涉及精密运动平台，特别是涉及基于高速XY型气浮导轨的运动平台。

背景技术

随着先进电子制造特征尺寸越来越小，电子制造设备对运动平台的移动精度的要求也越来越高，如精磨测量、精密加工、半导体制造等。目前精密运动的平台，主要使用气浮导轨，气浮导轨由于运用气体作为润滑介质，将运动部件和导轨隔开，减小了二者的摩擦，使得精度、速度均有了质量的提升。

现有的T型气浮平台，多采用十字形结构的运动平台将两个直线单自由度运动模块分别沿X方向和Y方向层叠安装，X方向的轨道结构连接在Y方向且由Y方向进行带动，X方向和Y方向均设置有直线电机，以便带动运动模块在单方向上运动，但当行程较长时，负载较大时，单一电机的力量难以支撑，容易产生倾斜力矩，同时导致X方向的运动精度不高，易发生变形和震动。本实用新型中运动平台和滑块均使用真空吸附提供预加载力，以实现高精度、高速率运行。

实用新型内容

本实用新型目的是要提供一种基于T型气浮导轨的运动平台，解决了T型气浮平台运动速率不高的问题。

为达到上述目的，本实用新型采用的技术方案是：

本实用新型提供了一种基于T型气浮导轨的运动平台，包括平台基板和底座，所述底座设在所述平台基板上端面，所述底座上设置有第一气浮块，所述第一气浮块和底座之间气浮连接且在底座的延伸范围内滑动，所述第一气浮块的一侧连接有导轨且第一气浮块与导轨相联动，所述底座和导轨为T型结构连接，所述导轨上设置有第二气浮块，所述第二气浮块在所述导轨上气浮滑动，所述第二气浮块上连接有载物平台，所述导轨和导轨的两端均设置有直线电机，所述导轨两端的直线电机的动子连接在所述导轨上，所述第一气浮块和第二气浮块均为真空预压式气浮滑块。

优选地，所述底座和导轨上均设置有光栅尺。

优选地，所述第一气浮块和第二气浮块均为中空结构，分别罩设在所述底座和导轨上。

进一步地，所述导轨的一侧设有多个可拆卸的拖链。

由于上述技术方案运用，本实用新型与现有技术相比具有下列优点：

本实用新型的基于T型气浮导轨的运动平台，包括平台基板和底座，底座上设置有第一气浮块，第一气浮块在底座上气浮滑动，第一气浮块的一侧连接有导轨，导轨与第一气浮块相联动，导轨上设置有第二气浮块，第二气浮块在导轨上气浮滑动，第二气浮块上连接有载物平台，导轨和导轨的两端均设置有直线电机，直线电机的动子连接在所述导轨上，分别用于带动第一气浮块和第二气浮块滑动。第一气浮块和第二气浮块均为真空预压式气浮滑块，第二气浮滑块在导轨上直线电机的带动下带动载物平台在X方向上运动时，第一气浮滑块在导轨两端直线电机的带动下带动导轨在Y方向上运动，两端的直线电机共同带动导轨在X、Y方向运动，在载荷较大、行程较远的情况下，保证直线运动的速率要求，同时也能承载较大重量物品。

附图说明

后文将参照附图以示例性而非限制性的方式详细描述本实用新型的一些具体实施例。附图中相同的附图标记标示了相同或类似的部件或部分。本领域技术人员应该理解，这些附图未必是按比例绘制的。附图中：

图1是本实用新型优选实施例的结构示意图。