[实用新型]过滤器

说明书

本实用新型公开了一种过滤器，包括第一壳体，具有入口、出口和排气口；第二壳体；滤芯，至少包括中心杆，外壳，滤膜，及第一、第二端盖，外壳与第二壳体的内壁间形成环形空腔，其与入口和排气口均连通，滤芯的中空内部与出口连通；第二壳体的内壁和外壳的外壁间形成隔离壁，其轴向延伸将环形空腔周向隔断；第一端盖形成与入口和环形空腔连通的第一连通口，原料流体经过该第一连通口向隔离壁流动，隔离壁引导原料流体轴向向下流动进入环形空腔。该过滤器中，环形空腔被隔离壁隔断，原料流体的螺旋流动或者对流被隔离壁阻断，且隔离壁引导原料流体有序流动，原料流体受到的扰动减少，流动的有序性提高，气泡的形成大幅减少。

技术领域

本实用新型属于过滤技术领域，尤其是涉及一种过滤器。

背景技术

现有用于过滤半导体制程流体的过滤器，通常包括第一壳体、与第一壳体密封连接的第二壳体及定位于第二壳体内部的滤芯。第一壳体具有入口、出口和排气口，滤芯通过与其中空内部连通的接口与出口密封连接。进料流体由入口流入，首先进入滤芯外周与第二壳体内壁间的空间内，然后透过滤膜，污染物被滤膜截留，洁净滤液进入其中空的内部，再经接口和出口排出；过滤器内部的气泡则经排气口排出。

但是，由于滤芯的外壁和第二壳体的内壁间形成环形空腔，原料流体由入口流入后、进入空腔内，会在环形空腔内、绕着滤芯的外周螺旋流动，并形成对流，某些流体如光刻胶，容易由于螺旋流动或对流等造成的扰动而额外形成气泡，导致过滤器内部气泡增加，而排气口无法及时将额外形成的气泡排出；最终，由出口排出的滤液仍然夹带超出允许含量的气泡，进而导致下游制程产品的缺陷。也就是说该现有过滤器，不能满足容易起泡的流体的过滤应用，无法提供气泡含量符合要求的洁净滤液。

因此，还应改进该现有过滤器的内部结构，以提高原料流体在过滤器内部流动的有序性或规律性，避免形成螺旋流动或对流，缓解对原料流体形成的扰动，从而减少由于扰动而形成的气泡的量。

实用新型内容

为了克服现有技术的不足，本实用新型提供一种提高流体的流动有序性，气泡量减少的过滤器。

本实用新型解决其技术问题所采用的技术方案是：过滤器，包括，

第一壳体，具有入口、出口和排气口；

第二壳体，其顶端与所述第一壳体密封连接；

滤芯，定位于所述第二壳体内部，至少包括中心杆，外壳，位于中心杆和外壳之间的滤膜，及密封连接于两端的第一端盖和第二端盖，所述外壳与第二壳体的内壁之间形成环形空腔，该环形空腔与所述入口和排气口均连通，所述滤芯的中空内部与出口连通；

所述第二壳体的内壁和外壳的外壁之间形成隔离壁，该隔离壁轴向延伸将所述环形空腔周向隔断；

所述第一端盖形成与所述入口和环形空腔连通的第一连通口，由所述入口流入的原料流体经过该第一连通口向所述隔离壁流动，所述隔离壁引导原料流体轴向向下流动进入环形空腔。

本实用新型提供的过滤器中，第二壳体的内壁和滤芯的外壳的外壁之间形成轴向延伸的隔离壁，环形空腔被该隔离壁隔断，从而原料流体在环形空腔内的螺旋流动或者对流被隔离壁阻断，原料流体受到的扰动作用得到缓和，提高了原料流体流动的有序性，从而由扰动额外形成的气泡量大幅减少，过滤器内部气泡含量减少，相应地，洁净滤液中气泡的含量大幅下降，不会再超出允许值；另外，第一端盖形成与入口连通的第一连通口，第一连通口可将原料流体导向隔离壁，该隔离壁引导原料流体轴向向下流动，也就是说隔离壁还对原料流体的流动起到引导作用，进一步提高原料流体流动的有序性。

进一步的，所述第二壳体的内壁和外壳的外壁之间形成与所述隔离壁配合的限位部，以形成所述第二壳体和滤芯间的周向限位。

限位部可以有效实现第二壳体和滤芯之间的周向限位，避免滤芯相对第二壳体发生偏转，保证整体装配结构的稳固性，同时限位部也给滤芯的装配提供了安装位置的提示，便于安装。