[实用新型]一种对称结构的高精度单晶硅差压传感器

权利要求书

1.一种对称结构的高精度单晶硅差压传感器，其特征在于：包括烧结底座（1）、单晶硅芯片（2）、芯体座（3）、芯体管路（4）、基座主体（5）、基座管路（6）、中心膜片（7）、中心腔室（8）、隔离膜片（9）、隔离腔室（10）、螺纹接头（13）、定位管（12）和充油管（14）；所述基座主体（5）的上端内侧壁套接安装有烧结底座（1）；所述烧结底座（1）的下端面对接安装有芯体座（3）；所述芯体座（3）的上端面开设的凹槽内部安装有单晶硅芯片（2）；所述烧结底座（1）和芯体座（3）的外侧壁安装有芯体管路（4）；所述基座主体（5）的内部间隔嵌入安装有基座管路（6）；所述基座主体（5）的内部正中心竖直开设加工有中心腔室（8）；所述中心腔室（8）的内部竖直安装有中心膜片（7）；所述基座主体（5）的外侧壁套接安装有隔离膜片（9）；所述基座主体（5）与所述隔离膜片（9）之间形成有隔离腔室（10）；所述芯体管路（4）、基座管路（6）、中心腔室（8）、隔离腔室（10）内腔均设置填充液（11）；所述芯体座（3）的下端面与所述基座主体（5）之间竖直嵌入安装有定位管（12），且定位管（12）套接于所述基座管路（6）的上端；所述基座主体（5）的上端通过开设的外螺纹连接安装有螺纹接头（13）；所述烧结底座（1）的上端面间隔竖直嵌入安装有充油管（14）。

2.根据权利要求1所述的一种对称结构的高精度单晶硅差压传感器，其特征在于：所述烧结底座（1）中设置有注油孔，且所述注油孔上端口与所述充油管（14）对接在一起。

3.根据权利要求1所述的一种对称结构的高精度单晶硅差压传感器，其特征在于：所述中心膜片（7）与隔离膜片（9）均采用的是金属膜片。

4.根据权利要求1所述的一种对称结构的高精度单晶硅差压传感器，其特征在于：所述填充液（11）中含有硅油。

5.根据权利要求1所述的一种对称结构的高精度单晶硅差压传感器，其特征在于：所述中心腔室（8）、隔离腔室（10）相对于中心膜片（7）呈轴对称分布。