[实用新型]一种低漏电悬臂式探针卡

说明书

本实用新型涉及探针卡技术领域，公开了一种低漏电悬臂式探针卡，通过每一根悬臂式探针采用独立的环氧树脂固定板固定在陶瓷环上，探针与探针之间的环氧树脂固定板不相连，从而有效避免探针与探针之间产生漏电，陶瓷环具有良好的绝缘性能，从而避免探针与安装板之间产生漏电，有效降低了探针卡的漏电值,从而达到有效防止探针卡在测试时的电流泄漏的目的，提升了探针卡的性能可靠性，且结构简单，制作成本低廉，使用方便，实用性强。

技术领域

本实用新型涉及探针卡技术领域，特别涉及一种低漏电悬臂式探针卡。

背景技术

探针卡（probe card）是用于在LSI（大规模集成电路）制造过程中晶片测试过程期间对晶片上的LSI（大规模集成电路）芯片进行电测试的夹具。探针卡对接在晶片探针器上，以用作LSI芯片电极与LSI测试仪（作为测量机）之间的连接器。探针卡的针与LSI芯片电极接触，以进行电气测试，以进行通过/不通过测试。晶圆测试过程非常重要，并且高度依赖探针卡的可靠性。

漏电值是探针卡诸多性能参数中的重要参数之一，针对WAT测试探针卡，对于探针卡的低漏电标准要求比较高，漏电值低至10~15 A。然而，目前现有的悬臂探针卡的测试探针大多采用整体式环氧树脂进行固定在安装板上，环氧树脂可能掺杂其他的杂质，导致其绝缘性降低，从而导致探针卡在使用过程中探针与探针之间以及探针与安装板之间容易产生漏电，影响探针卡的测试性能，需要进一步地改进。

实用新型内容

本实用新型的主要目的是提出一种低漏电悬臂式探针卡，旨在解决现有的探针卡在使用过程中探针与探针之间以及探针与安装板之间容易产生漏电，影响探针卡的测试性能的技术问题。

为实现上述目的，本实用新型提出的低漏电悬臂式探针卡，包括陶瓷PCB板、固定座、加强板、陶瓷环、测试探针以及环氧树脂固定板，所述陶瓷PCB板的上端部的中间凹设有一通槽，所述固定座可拆的设置于所述通槽的上方，且所述固定座与所述陶瓷PCB板的上端壁可拆卸固定连接，所述加强板可拆卸的设置于所述固定座的下端壁上，所述陶瓷环的上端壁通过环氧粘合剂粘接固定于所述加强板的下端壁上，所述环氧树脂固定板分别沿圆周方向间隔的设置于所述陶瓷环的下端壁上，所述测试探针分别穿设于所述环氧树脂固定板设置，所述测试探针的前端部均呈向下折弯结构设置，所述陶瓷PCB板的上端壁沿圆周方向设有多个焊盘，所述测试探针的后端部分别与所述焊盘焊接固定连接。

进一步地，还包括第一紧固螺钉，所述通槽的周围凹设有多个第一通孔，所述固定座的上端壁凹设有多个与所述第一通孔一一对应的第一螺纹孔，所述第一紧固螺钉分别穿设于所述第一通孔，并旋于所述第一螺纹孔内设置。

进一步地，还包括第二紧固螺钉，所述固定座的上端壁的两侧分别凹设有一第二通孔，所述加强板的两侧分别凹设有一第二螺纹孔，所述第二紧固螺钉分别穿设于所述第二通孔，并旋于所述第二螺纹孔内设置。

进一步地，所述固定座和加强板的上端壁分别凹设有一观察槽。

进一步地，还包括把手，所述把手均呈U型结构设置，所述把手分别设置于所述陶瓷PCB板的上端壁的两侧，且所述把手的两端均分别与所述陶瓷PCB板的上端壁可拆卸固定连接。

进一步地，还包括第三紧固螺钉，所述陶瓷PCB板的上端壁的两侧分别凹设有多个第三通孔，所述把手的两端均分别凹设有一第三螺纹孔，所述第三紧固螺钉分别穿设于所述第三通孔，并旋于所述第三螺纹孔内设置。

进一步地，所述固定座和加强板均采用不锈钢材质形成。

进一步地，所述陶瓷PCB板的上端壁沿圆周方向设有多个条形焊接盘。