[实用新型]一种喷丝孔显微镜检测装置

权利要求书

1.一种喷丝孔显微镜检测装置，用于喷丝板上喷丝孔的检测，所述喷丝孔呈喇叭口状，其特征在于，所述检测装置包括：

显微镜组件，用于观测所述喷丝孔的一端开口；

潜望镜组件，由第一管路和垂直连通在第一管路一端的第二管路构成；所述第一管路的另一端部开口处设置有目镜，且第一管路和所述显微镜组件光轴分别平行；所述第二管路的侧壁上设置有作为光路入口的开口，且所述开口与所述显微镜组件光轴共轴，用于对显微镜组件所观测之喷丝孔的另一端开口进行观测；所述开口内设有与所述开口方向呈45°夹角的第一平面反光镜，所述第一管路和第二管路交界处设有所述第一平面反射镜垂直的第二平面反射镜。

2.根据权利要求1所述的一种喷丝孔显微镜检测装置，其特征在于：所述检测装置还包括用于支撑喷丝板并可带动喷丝板绕其轴线自转的旋转夹具，所述旋转夹具的转动轴线与所述显微镜组件光轴相互平行设置。

3.根据权利要求2所述的一种喷丝孔显微镜检测装置，其特征在于：所述检测装置还包括可活动式支撑所述旋转夹具的轨道，所述旋转夹具沿轨道移动路径所在的直线与所述旋转夹具的转动轴线垂直相交。

4.根据权利要求2或3所述的一种喷丝孔显微镜检测装置，其特征在于：所述旋转夹具包括底座和转盘，所述底座可活动设置在所述轨道上，所述转盘可转动式支撑于所述底座上，且其上部形成有喷丝板安装位。

5.根据权利要求4所述的一种喷丝孔显微镜检测装置，其特征在于：所述显微镜组件设于所述旋转夹具上喷丝板的上方；所述第一管路设于所述旋转夹具一侧，所述第二管路设于所述旋转夹具上喷丝板的下方。

6.根据权利要求5所述的一种喷丝孔显微镜检测装置，其特征在于：所述检测装置还包括支座，所述显微镜组件和潜望镜组件固定于所述支座上。