[实用新型]一种铝合金微弧氧化膜层用粗糙度测试装置

说明书

本实用新型公开了一种铝合金微弧氧化膜层用粗糙度测试装置，包括装置主体，所述装置主体的内部开设有第一内置槽，所述装置主体的外侧安装有旋转电机，所述第一内置槽的内部设置有移动块，所述移动块的下方安装有触针，所述装置主体的下端设置有底座，所述底座的上方安装有压板，所述压板的下方安装有防滑软垫，所述压板的下方设置有滑动柱，所述底座的内部开设有第四内置槽，所述底座的左侧设置有支撑杆，所述支撑杆的下方安装有连接杆，所述连接杆的内侧安装有碾压滚轮。本实用新型公开了一种铝合金微弧氧化膜层用粗糙度测试装置，便于将整张测试膜固定，平整后进行整面的操作，操作简便同时保证了测试的准确性。

技术领域

本实用新型涉及氧化膜层加工技术领域，具体为一种铝合金微弧氧化膜层用粗糙度测试装置。

背景技术

在半导体器件的制造上，氧化膜具有极为重要的作用。其被利用为MOS晶体管的棚级氧化膜、PN接合部的保护膜、杂质扩散的光罩。氧化膜层在使用前需要进行粗糙度的测试，粗糙度仪测量工件表面粗糙度时，将传感器放在工件被测表面上，由仪器内部的驱动机构带动传感器沿被测表面做等速滑行，传感器通过内置的锐利触针感受被测表面的粗糙度，此时工件被测表面的粗糙度引起触针产生位移，该位移使传感器电感线圈的电感量发生变化，从而在相敏整流器的输出端产生与被测表面粗糙度成比例的模拟信号，该信号经过放大及电平转换之后进入数据采集系统。

现有技术存在以下缺陷或问题：由于膜层面积大，现有的很多是对单块进行检测，可能导致实验数据不准，同时测试时若放置不平整也会影响最终的测试结果。

实用新型内容

本实用新型的目的在于针对现有技术的不足之处，提供一种铝合金微弧氧化膜层用粗糙度测试装置，以解决背景技术中提出的问题。

为实现上述目的，本实用新型提供如下技术方案：一种铝合金微弧氧化膜层用粗糙度测试装置，包括装置主体，所述装置主体的内部开设有第一内置槽，所述装置主体的外侧安装有旋转电机，所述第一内置槽的内部设置有移动块，所述移动块的下方安装有触针，所述装置主体的下端设置有底座，所述底座的上方安装有压板，所述压板的下方安装有防滑软垫，所述压板的下方设置有滑动柱，所述底座的内部开设有第四内置槽，所述底座的左侧设置有支撑杆，所述支撑杆的下方安装有连接杆，所述连接杆的内侧安装有碾压滚轮。

作为本实用新型的优选技术方案，所述第一内置槽的内部安装有螺纹杆，所述螺纹杆固定连接旋转电机，所述螺纹杆对应装置主体处开设有与螺纹杆外径相适配的小孔，所述螺纹杆贯穿装置主体，所述移动块螺纹连接螺纹杆，所述触针固定连接移动块的底端。

作为本实用新型的优选技术方案，所述支撑杆为一种J型构件，所述支撑杆上端对应装置主体处开设有第二内置槽，所述第二内置槽的内部安装有第一限位杆，所述支撑杆通过第一限位杆滑动连接第二内置槽。

作为本实用新型的优选技术方案，所述支撑杆的下端对应底座处开设有第三内置槽，所述第三内置槽的内部安装有第二限位杆，所述支撑杆底端内部开设有小孔且与第二限位杆外径相适配，所述支撑杆通过第二限位杆滑动连接第三内置槽。

作为本实用新型的优选技术方案，所述连接杆共设置有两个，所述连接杆对称置于支撑杆长端下方，所述连接杆焊接连接支撑杆，两个所述连接杆旋转连接碾压滚轮。

作为本实用新型的优选技术方案，所述防滑软垫共设置有四个，分别置于压板的四边底端，所述防滑软垫胶合连接压板，所述滑动柱以两个对立为一组共设置有四组，分别置于压板的下方，所述滑动柱滑动连接第四内置槽。

作为本实用新型的优选技术方案，所述滑动柱的内部开设有滑动槽，两个对立所述滑动柱通过滑动槽滑动连接，下端所述移动块的顶端设置有T型塞，上端所述滑动柱的底端通过T型塞卡扣连接下端滑动柱。