[实用新型]测厚装置有效
| 申请号： | 202121279115.0 | 申请日： | 2021-06-08 |
| 公开（公告）号： | CN215766975U | 公开（公告）日： | 2022-02-08 |
| 发明（设计）人： | 黄兴盛;陈国栋;吕洪杰;翟学涛;杨朝辉 | 申请（专利权）人： | 深圳市大族数控科技股份有限公司 |
| 主分类号： | G01B21/08 | 分类号： | G01B21/08 |
| 代理公司： | 深圳中细软知识产权代理有限公司 44528 | 代理人： | 王志强 |
| 地址： | 518000 广东省深圳市宝安区沙井街道沙二社区安托山高科技工业*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 装置 | ||
1.一种测厚装置，其特征在于，包括载物台、测量组件、Z轴动力组件以及伸缩组件；
所述载物台用于放置待测物，所述测量组件设置在所述载物台上方，所述伸缩组件分别连接所述测量组件和所述Z轴动力组件，所述Z轴动力组件用于驱动所述测量组件和所述伸缩组件一起沿竖直方向运动，所述伸缩组件用于驱动所述测量组件伸出或缩回。
2.根据权利要求1所述的测厚装置，其特征在于，所述伸缩组件包括与所述Z轴动力组件连接的支撑件以及设置在所述支撑件上的第二动力件，所述第二动力件与所述测量组件连接，并且所述第二动力件用于驱动所述测量组件伸出或缩回；
所述Z轴动力组件驱动所述支撑件沿所述竖直方向运动，从而带动所述第二动力件和所述测量组件一起运动。
3.根据权利要求2所述的测厚装置，其特征在于，所述测量组件包括探针，所述探针设置在所述第二动力件靠近所述载物台的一端；
所述第二动力件用于驱动所述探针伸出或缩回。
4.根据权利要求3所述的测厚装置，其特征在于，所述测量组件还包括连接件和传感器，所述连接件与所述第二动力件连接，所述探针和所述传感器均设置在所述连接件上，并且所述探针位于所述连接件靠近所述载物台的一端，所述传感器设置在所述探针远离所述载物台的一端。
5.根据权利要求4所述的测厚装置，其特征在于，所述第二动力件驱动所述连接件沿所述竖直方向来回运动，从而带动所述探针和所述传感器一起运动。
6.根据权利要求5所述的测厚装置，其特征在于，所述第二动力件用于驱动所述探针相对于所述支撑件伸出或缩回。
7.根据权利要求6所述的测厚装置，其特征在于，所述第二动力件为气缸。
8.根据权利要求4所述的测厚装置，其特征在于，所述传感器为EE-SX47凹槽接插式传感器。
9.根据权利要求1～8中任意一项所述的测厚装置，其特征在于，所述Z轴动力组件包括第一动力件和沿所述竖直方向延伸的轨道；
所述轨道分别与所述第一动力件和所述伸缩组件连接，所述第一动力件驱动所述测量组件和所述伸缩组件一起沿着所述轨道运动。
10.根据权利要求9所述的测厚装置，其特征在于，所述第一动力件为步进电机。
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