[实用新型]用于传送花篮的传输装置

说明书

本实用新型提供一种用于传送花篮的传输装置，涉及硅片制备领域。该传输装置包括：传送带，用于传送花篮并具有用于承载花篮的承载面；下压件，与承载面抵接，用于将传送带的部分下压，以形成避让空间；翻转机构，翻转机构的下端在第一位置和第二位置之间连续运动；其中，第一位置为翻转机构的下端位于避让空间的位置，以使花篮由承载面传送至翻转机构；第二位置为翻转机构的下端高于承载面预定距离的位置；在翻转机构的下端位于第二位置时，翻转机构夹紧并翻转花篮。这种传输装置能够在减小传输装置中的翻转机构需要占用的空间的同时，提高花篮的传输的平稳性。

技术领域

本实用新型涉及硅片制备领域，尤其涉及一种用于传送花篮的传输装置。

背景技术

花篮是在硅片的制备过程中用于存储硅片的结构，在硅片的制备过程中，通过传输装置将内部存储有硅片的花篮在不同的加工位置之间传输，从而对硅片进行加工。同时，在硅片的制备过程中需要对硅片的两个面都进行加工，传输装置还需要设置翻转机构以翻转花篮。相关的传输装置的翻转机构需要占用较大的空间。

实用新型内容

本实用新型提供一种用于传送花篮的传输装置，以解决如何在减小传输装置中的翻转机构需要占用的空间的同时，提高花篮传输的平稳性的技术问题。

本实用新型实施例提供一种用于传送花篮的传输装置，该传输装置包括：传送带，用于传送花篮并具有用于承载所述花篮的承载面；下压件，与所述承载面抵接，用于将所述传送带的部分下压，以形成避让空间；翻转机构，所述翻转机构的下端在第一位置和第二位置之间连续运动；其中，第一位置为所述翻转机构的下端位于所述避让空间的位置，以使所述花篮由所述承载面传送至所述翻转机构；第二位置为所述翻转机构的下端高于所述承载面预定距离的位置；在所述翻转机构的下端位于第二位置时，所述翻转机构夹紧并翻转所述花篮。

进一步的，所述传输装置还包括：机架，与所述传送带可活动地连接，且与所述下压件以及翻转机构连接。

进一步的，所述翻转机构包括：安装板；夹爪，所述夹爪具有多个，至少两个所述夹爪设置在所述安装板的竖直方向上的两端，且各所述夹爪均与所述安装板可滑动地连接；所述夹爪能够从所述第一位置连续上升至所述第二位置；翻转驱动件，与所述机架连接，并与所述安装板固定连接，以驱动所述安装板翻转以使至少两个所述夹爪在竖直方向上的位置调换；其中，在所述第一位置处，位于下端的所述夹爪位于所述避让空间内；在所述第二位置处，位于下端的所述夹爪高于所述承载面，且所述夹爪夹紧所述花篮。

进一步的，所述翻转驱动件包括：旋转电机，所述旋转电机的壳体与所述机架固定连接，且所述旋转电机的长度方向与所述传送带的延伸方向基本平行；第一锥齿轮，与所述旋转电机的输出轴固定连接；第二锥齿轮，与所述安装板固定连接，并与所述第一锥齿轮啮合；其中，所述第二锥齿轮的轮径大于所述第一锥齿轮的轮径。

进一步的，所述翻转机构还包括：直线驱动件，与所述夹爪固定连接，以驱动所述夹爪升降运动，且沿竖直方向，所述直线驱动件的行程不小于所述第一位置与所述第二位置的间距。

进一步的，沿所述承载面向所述下压件的方向，所述避让空间的外缘尺寸递减。

进一步的，所述下压件与所述机架可旋转地连接。

进一步的，所述传输装置还包括：支撑件，与所述机架连接，并与所述传送带的承载面相对的面抵接，且沿所述传送带的延伸方向，所述支撑件位于所述下压件的至少一侧。

进一步的，所述支撑件具有多个，且沿所述传送带的延伸方向，位于所述下压件的两侧。

进一步的，所述支撑件与所述机架可旋转地连接。