[实用新型]一种晶圆棒开方回收装置

权利要求书

1.一种晶圆棒开方回收装置，包括回收箱，其特征在于，还包括独立于所述回收箱之外的顶固组件和传送件；

所述顶固组件用于顶固所述晶圆棒被切边料，以使所述被切边料完全与所述晶圆棒本体剥离后自落至所述传送件上，再被传至所述回收箱中收集。

2.根据权利要求1所述的一种晶圆棒开方回收装置，其特征在于，所述顶固组件与任一组对位设置的所述被切边料配合设置；且至少与一组对位设置的所述被切边料配合。

3.根据权利要求1或2所述的一种晶圆棒开方回收装置，其特征在于，所述顶固组件包括对称于所述被切边料两端的顶杆，所述顶杆可沿所述晶圆棒长度方向同步伸缩移动，以顶固所述被切边料或松开所述被切边料。

4.根据权利要求3所述的一种晶圆棒开方回收装置，其特征在于，所述顶杆与所述被切边料端面被配置为点接触或面接触。

5.根据权利要求4所述的一种晶圆棒开方回收装置，其特征在于，所述顶杆与所述被切边料的端部接触的位置位于所述被切边料端面的中心线上。

6.根据权利要求4或5所述的一种晶圆棒开方回收装置，其特征在于，所述顶杆靠近所述被切边料一端的最大横截面中靠近所述被切边料直边的最近边缘与所述被切边料的直边为间隙设置。

7.根据权利要求6所述的一种晶圆棒开方回收装置，其特征在于，所述顶固组件与所述晶圆棒中每批次切割的所述被切边料的数量相匹配。

8.根据权利要求1-2、4-5、7任一项所述的一种晶圆棒开方回收装置，其特征在于，所述传送件被配置于所述晶圆棒的下方，且沿垂直于所述晶圆棒长度方向横向平移；所述传送件可使落入其上的所述被切边料移动至其两侧的任一所述回收箱中。

9.根据权利要求8所述的一种晶圆棒开方回收装置，其特征在于，所述传送件的宽度大于所述晶圆棒的宽度和长度；所述传送件靠近所述晶圆棒的一侧是由防割材质制成的结构。

10.根据权利要求9所述的一种晶圆棒开方回收装置，其特征在于，所述回收箱的斜边面靠近所述传送件一侧设置。