[实用新型]一种波长精密锁定的气体传感半导体激光器

说明书

本实用新型提供一种波长精密锁定的气体传感半导体激光器，所述激光器包括外壳，且所述外壳内设有生成激光的发光装置，所述发光装置包括半导体激光器芯片，所述半导体激光器芯片的背侧设有参考气室，且所述参考气室具有双面镀膜玻璃窗口，所述参考气室内封目标参考气体，所述参考气室背侧具有参考背光光电二极管，所述半导体激光器芯片背部发出的光经过所述参考气室后被所述参考背光光电二极管接收。半导体激光器芯片背侧发出的光经过参考气室，参考气室内封装的参考气体对半导体激光器芯片背部发出的激光进行光谱吸收，之后被所述参考背光光电二极管接收，通过对参考背光光电二极管的电信号分析可对半导体激光器的发射激光波长进行精密锁定。

技术领域

本实用新型涉及激光器技术领域，具体而言是一种波长精密锁定的气体传感半导体激光器。

背景技术

激光器的波长漂移是激光光谱气体传感器失效的主要原因之一，目前对激光器波长进行锁定的方法为将激光器发出的检测光使用分光器分成两束，一束光作为气体的检测光，另一束光通过参考气室并由参考接收器接收，并对信号进行分析作为波长锁定的参考，目前的方法缺点为：1、结构复杂，成本高。2、将检测光分光，降低了检测光的强度，影响气体传感器的检测性能。

实用新型内容

根据上述技术问题，而提供一种波长精密锁定的气体传感半导体激光器。本实用新型主要采用在半导体激光器芯片背侧设置参考气室和参考背光光电二极管，从而起到利用激光器芯片背光作为波长精密锁定的参考。

本实用新型采用的技术手段如下：

一种波长精密锁定的气体传感半导体激光器，所述激光器包括外壳，且所述外壳内设有生成激光的发光装置，所述发光装置包括半导体激光器芯片，所述半导体激光器芯片的背侧设有参考气室，且所述参考气室具有双面镀膜玻璃窗口，所述参考气室内封目标参考气体，所述参考气室背侧具有参考背光光电二极管，所述半导体激光器芯片背部发出的光经过所述参考气室后被所述参考背光光电二极管接收。

所述发光装置还包括与所述壳体固定连接的半导体制冷器，所述半导体制冷器上设有载体，所述载体上粘结有基板和准直透镜，所述基板上焊接有所述半导体激光器芯片和热敏电阻；所述准直透镜设置在所述半导体激光器芯片的正侧。

半导体激光器芯片背侧发出的光经过参考气室，参考气室内封装的参考气体对半导体激光器芯片背部发出的激光进行光谱吸收，之后被所述参考背光光电二极管接收，通过对参考背光光电二极管的电信号分析可对半导体激光器的发射激光波长进行精密锁定。

较现有技术相比，本实用新型具有以下优点：

1、集成度高，结构简单、体积小，成本低。

2、利用半导体激光器芯片背部发出的光进行波长锁定，减小了产品的体积，不用对半导体激光器芯片正侧发出的光分进行分光。

基于上述理由本实用新型可在激光器等领域广泛推广。

附图说明

为了更清楚地说明本实用新型实施例或现有技术中的技术方案，下面将对实施例或现有技术描述中所需要使用的附图做以简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图是本实用新型的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。

图1为本实用新型具体实施方式中一种波长精密锁定的气体传感半导体激光器结构示意图。

具体实施方式

需要说明的是，在不冲突的情况下，本实用新型中的实施例及实施例中的特征可以相互组合。下面将参考附图并结合实施例来详细说明本实用新型。