[实用新型]一种曝光机用的散热装置

说明书

本实用新型公开了一种曝光机用的散热装置，包括安装框，安装框内表面的中部贯穿安装有冷排管，两个冷排管延伸至安装框外部的一端共同安装有连接弯管，安装框靠近连接弯管一端的端部固定安装有固定座，固定座的外侧贯穿安装有出水管，固定座远离连接弯管的一侧贯穿安装有进水管，安装框内表面的上部固定安装有固定架，固定架的内环面固定安装有安装板，安装板的上表面固定安装有安装座，安装座的上表面开设有灯座，两个冷排管延伸至安装框外部的另一端共同安装有通管，冷排管的外部套设安装有呈间隔设置的散热片。本实用新型在使用的过程中，能够实现对每个灯座进行散热，散热器覆盖范围广，且散热效率高，进一步地有利于进行使用。

技术领域

本实用新型涉及曝光机用散热设备技术领域，尤其涉及一种曝光机用的散热装置。

背景技术

曝光机又名光刻机，是制造芯片的核心设备，采用类似照片冲印的技术，把掩膜版上的精细图形通过光线的曝光印制到硅片上，曝光机在使用的过程中，由于照射灯管长时间的照射，曝光机内部温度较高，为了避免温度较高影响设备的正常运行，亟需散热设备进行有效散热，传统的散热设备在使用时，散热器覆盖范围较小，不能够对每个灯座进行直接散热，进而不利于进行使用。为此，我们提出了一种曝光机用的散热装置。

实用新型内容

本实用新型的目的是为了解决现有技术中存在的缺点，而提出的一种曝光机用的散热装置。

为了实现上述目的，本实用新型采用了如下技术方案：

一种曝光机用的散热装置，包括安装框，所述安装框内表面的中部贯穿安装有呈间隔设置的冷排管，两个所述冷排管延伸至安装框外部的一端共同安装有连接弯管，所述安装框靠近连接弯管一端的端部固定安装有固定座，所述固定座的外侧贯穿安装有出水管，所述固定座远离连接弯管的一侧贯穿安装有进水管，所述安装框内表面的上部固定安装有固定架，所述固定架的内环面固定安装有呈间隔设置的安装板，所述安装板的上表面固定安装有呈均匀分布的安装座，所述安装座的上表面开设有灯座，两个所述冷排管延伸至安装框外部的另一端共同安装有通管，所述冷排管的外部套设安装有呈间隔设置的散热片。

优选的，所述通管、冷排管与连接弯管的内部之间相连通。

优选的，所述安装框对应安装板的外环面固定安装有紧固螺栓，所述紧固螺栓延伸至安装框的内部并与安装板之间相连接。

优选的，所述安装框远离固定架的内表面的下部固定安装有散热板，所述散热板上开设有呈均匀分布的散热孔。

优选的，所述散热片上贯穿开设有安装孔，所述散热片的外表面固定安装有相间隔的半凸球，所述安装孔的内环面与冷排管的外环面之间相连接。

优选的，所述安装框靠近连接弯管和通管一侧的前后两端均固定安装有肋板。

本实用新型提出的一种曝光机用的散热装置，有益效果在于：本方案在使用的过程中，通过肋板将整个装置安装在曝光机内，进水管和出水管分别接入冷凝设备中，并在安装座上的灯座内固定安装朝向上方的照射灯，确保照射灯能够得到较为直接有效的散热效果；

在曝光机内照射灯长时间的使用后，曝光机内温度较高，热量集中在冷排管上的散热片上，冷凝设备通过进水管进入冷却液并以连接弯管、冷排管以及通管之间形成的通路回到出水管，冷却液通过冷排管时，冷排管配合半凸球将散热片上的热量吸收，从而实现冷热交换，提升曝光机内部的散热效率，有利于进行使用，因此整个装置在使用的过程中，能够实现对每个灯座进行散热，散热范围广，且散热效率高，进一步地有利于进行使用。

附图说明

图1为本实用新型提出的一种曝光机用的散热装置的结构示意图；

图2为本实用新型提出的一种曝光机用的散热装置的仰视结构示意图；

图3为本实用新型提出的一种曝光机用的散热装置的内部结构示意图；