[实用新型]一种四摆臂超声雾化旋转涂膜装置

说明书

一种四摆臂超声雾化旋转涂膜装置，涉及一种涂膜装置，摆臂通过摆臂轴固定座固定在壳体上，电脑控制器与四摆臂超声雾化装置通过连接线相连接；大同步带轮（9）与小同步带轮（10）通过同步带（8）与摆臂轴（6）相连接，雾化喷头（3）通过蝶形雾化喷头锁紧螺母（4）将雾化喷头（3）固定在可伸缩摆臂（5）上；摆臂轴（6）通过摆臂固定座（7）将摆臂固定在壳体上；主轴电机（11）固定在壳体（1）内；真空吸盘（12）通过吸盘自带卡槽连接在主轴电机（11）上。喷涂过程中喷头摆臂的摆动角度及液体的喷涂速度可自动控制，实现整个喷涂过程的自动化。

技术领域

本实用新型涉及一种涂膜装置，特别是涉及一种四摆臂超声雾化旋转涂膜装置。

背景技术

目前，超声雾化设备的功能都是一次涂覆一个种类的薄膜，若要在同一基片上涂覆多个种类的薄膜，则需要不断更换薄膜液体并清洗超声喷头，既增加了工作时间和工序，又使多层喷涂工作变得繁琐。

要实现一次喷涂多种液体，并能在圆周上控制喷涂的面积和均匀性，同时控制单位时间内液体的喷涂量，就需要一种多工位、喷头可呈弧形摆动、底部吸盘能够旋转、工作过程全自动控制的超声雾化喷涂设备。

发明内容

本实用新型的目的在于提供一种四摆臂超声雾化旋转涂膜装置，本实用新型利用同一种超声装置将一种或最多四种液体同时雾化并自动喷涂在一定尺寸基片表面形成薄膜，喷涂过程中喷头摆臂的摆动角度及液体的喷涂速度可自动控制，实现整个喷涂过程的自动化。

本实用新型的目的是通过以下技术方案实现的：

一种四摆臂超声雾化旋转涂膜装置，所述装置包括壳体、摆臂电机、雾化喷头、锁紧螺母、摆臂、摆臂轴、固定座、同步带、大同步带轮、小同步带轮、主轴电机、真空吸盘、电脑控制器；摆臂通过摆臂轴固定座固定在壳体上，电脑控制器与四摆臂超声雾化装置通过连接线相连接；大同步带轮与小同步带轮通过同步带与摆臂轴相连接，雾化喷头通过蝶形雾化喷头锁紧螺母将雾化喷头固定在可伸缩摆臂上；摆臂轴通过摆臂固定座将摆臂固定在壳体上；主轴电机固定在壳体内；真空吸盘通过吸盘自带卡槽连接在主轴电机上。

所述的一种四摆臂超声雾化旋转涂膜装置，所述摆臂电机通过摆臂电机固定座固定在壳体上部。

所述的一种四摆臂超声雾化旋转涂膜装置，所述摆臂轴通过同步带、大同步带轮和小同步带轮与摆臂电机相连。

所述的一种四摆臂超声雾化旋转涂膜装置，所述雾化喷头通过蝶形雾化喷头锁紧螺母固定在可伸缩摆臂端部。

所述的一种四摆臂超声雾化旋转涂膜装置，所述可伸缩摆臂固定在摆臂轴顶端。

所述的一种四摆臂超声雾化旋转涂膜装置，所述主轴电机固定在壳体底部。

本实用新型的优点与效果是：

1.本实用新型同时喷涂一种或最多四种液体对样品进行涂膜或清洗，喷涂时可以通过调整摆臂长度和角度来控制喷涂面积。配合真空吸盘的旋转，使喷涂后的薄膜更均匀，所有摆臂的摆动角度和液体的喷涂速度都可用电脑进行自动控制。

2.本实用新型在设备壳体顶部配置四个雾化喷头摆臂，每个摆臂端配置一个雾化喷头，四个喷头可单独使用也可同时使用，可进行最多四种薄膜的喷涂，使同一工序中多种类薄膜喷涂工作不再繁琐，提高了工作效率。

3.本实用新型喷涂过程中四摆臂可设置一定角度进行摆动，同时配合底部真空吸盘的旋转，提高了喷涂薄膜的均匀性。所有工序的参数通过电脑控制器进行设置并自动控制，实现了多层薄膜喷涂的智能化控制。

附图说明

图1为本实用新型整体结构示意图；

图2为图1的俯视图。