[实用新型]一种尾气处理装置

说明书

本实用新型公开了一种尾气处理装置,包括冷凝瓶、冷阱、过滤瓶和泵，冷凝瓶、冷阱、过滤瓶和泵通过管道依次连接，冷凝瓶、冷阱、过滤瓶、泵以及管道形成尾气流通通道，冷凝瓶、冷阱和过滤瓶收集尾气中的有害物质，本实用新型经过冷凝瓶、冷阱和过滤器三重有害物质收集装置，极大降低了尾气中有害物质，本实用新型可兼容常规设备，无需设置额外的设备进行组装，降低了设备的成本，本实用新型将尾气中对泵的有害物质收集在冷凝瓶、冷阱和过滤器中，极大的延长了泵的维护周期和使用寿命。

技术领域

本实用新型属于半导体制造和太阳能光伏电池制造领域，涉及一种尾气处理装置。

背景技术

随着半导体技术和太阳能光伏发电技术越来越受到重视，相关设备的技术需求也越来越受到关注，其中在制造工艺中包括低压硼扩散、低压磷扩散、低压退火、低压氧化、低压化学气相沉积等工艺，上述工艺均需要在炉管内进行，从工艺腔体排出的工艺气体和工艺产物可能会在降温后形成粉末或液体，会附着在管道和泵的腔体中，影响管道和泵的性能和维护周期。

扩散炉尾气常含有较多未反应物或反应产物，常规方式是尾气通过冷凝瓶再通过泵排出至尾气处理管道，扩散炉尾气中含有的反应物或产物，有些冷凝后会产生液体，有些冷凝后会产生粉尘，有些既有液体又有粉尘，尾气通过气温相对低的冷凝瓶后，会在冷凝瓶中聚集液体或吸附在冷凝瓶上的粉尘聚集物，通常磷扩散工艺会在冷凝瓶中聚集较多液体，硼扩散工艺会在冷凝瓶中吸附聚集粉尘聚集物，由于气体流量大，泵的抽速快，很多在高温气体中的物质并不能完全冷却聚集在冷凝瓶中，会被抽到泵里去，常规扩散设备一般用隔膜泵，尾气中的物质特别是硼扩散的粉尘会影响膜片性能甚至堵塞泵里的管道，缩短泵的维护周期，影响泵的使用寿命，本实用新型有效地解决了这种问题。

发明内容

本实用新型为了克服现有技术的不足，提供一种尾气处理装置。

为了实现上述目的，本实用新型采用以下技术方案：一种尾气处理装置，其特征在于：包括冷凝瓶、冷阱、过滤瓶和泵，冷凝瓶、冷阱、过滤瓶和泵通过管道依次连接，冷凝瓶、冷阱、过滤瓶、泵以及管道形成尾气流通通道，冷凝瓶、冷阱和过滤瓶收集尾气中的有害物质。

进一步的；所述管道包括第一管道、第二管道和第三管道，第一管道连通冷凝瓶和冷阱，第二管道连通冷阱和过滤瓶，第三管道连通过滤瓶和泵。

进一步的；所述冷凝瓶上设置有通管，通管包括沿冷凝瓶侧面绕设的弯管和插入冷凝瓶的直管，弯管端面设置有进气端，进气端与工艺腔体的排气口连接，直管端面固设有出气端，出气端与第一管道连通，尾气沿排气口、进气端通入通管，冷凝瓶捕获尾气中的有害物质。

进一步的；所述冷阱包括容器和盘管，容器固设有内腔，盘管安装在内腔，内腔内设置有冷却液，冷却液用于对流通在盘管内的尾气降温，盘管上设置有冷阱进气口和冷阱出气口，冷阱进气口与第一管道连通，冷阱出气口与第二管道连通，尾气沿第二管道和冷阱进气口通入盘管，冷阱捕获未被冷凝瓶收集的有害物质。

进一步的；所述过滤瓶包括瓶盖、滤芯和滤瓶，瓶盖固设有过滤进气口和过滤出气口，过滤进气口与第二管道连通，过滤出气口与第三管道连通，滤瓶与滤芯之间形成尾气的流通区域，过滤进气口与该流通区域连通，滤芯内固设有穿腔，穿腔与过滤出气口连通，经冷阱的尾气沿第二管道和过滤进气口进入流通区域，尾气通过滤芯外层进入滤芯的穿腔，通过滤芯过滤未被冷阱捕获的有害物质，过滤后尾气沿过滤出气口导出。

进一步的；所述泵两端分别设置泵进气口和泵出气口，泵进气口与第三管道连通，泵出气口与尾气处理系统连通，经过滤瓶过滤的尾气沿第三管道通入泵中。

进一步的；还包括真空计，真空计安装在过滤瓶和泵之间。

进一步的；所述冷却液采用冷却水。

进一步的；所述盘管设置有一组，冷阱进气口和冷阱出气口分别位于一组盘管的两端。