[实用新型]一种抛光垫双面修整装置

说明书

本实用新型公开了一种抛光垫双面修整装置，包括操作台，操作台的上表面安装有固定架，固定架上设置有传动丝杆，传动丝杆的一端通过联轴器连接在驱动电机的输出轴上，传动丝杆螺纹连接有横向移动滑座，横向移动滑座的上端嵌在固定架上，横向移动滑座的下端连接有抛光垫双面修整机构，固定架的侧面还安装有抛光垫装夹机构。本实用新型的抛光垫双面修整装置，通过第一装夹板和第二装夹板将抛光垫固定在装夹基座上，可为抛光垫修整工作提供充分的保障，通过旋转且横向移动的上修整盘和下修整盘可对抛光垫进行充分的修整，提高抛光垫的修整效率。

技术领域

本实用新型涉及抛光垫技术领域，具体为一种抛光垫双面修整装置。

背景技术

在硅片进行抛光工艺的过程中，抛光头上的硅片与贴附在旋转的下定盘上的抛光垫表面接触，硅片与抛光垫之间使用的抛光浆料和化学品等会研磨抛光垫和硅片，在抛光浆料与化学品的化学反应及机械加压引起的物理反应的共同作用下，硅片表面被抛光，但是抛光垫表面形态会逐渐变得凹凸不平，因此需要对抛光垫进行修整，目前在对抛光垫进行修整时，多为对抛光垫单面进行修整，修整好一面后再对抛光垫的另一面进行修整，不能对抛光垫的双面同时进行修整，使得抛光垫修整效率低下。

实用新型内容

本实用新型的目的在于提供一种抛光垫双面修整装置，通过第一装夹板和第二装夹板将抛光垫固定在装夹基座上，可为抛光垫修整工作提供充分的保障，通过旋转且横向移动的上修整盘和下修整盘可对抛光垫进行充分的修整，提高抛光垫的修整效率，可以解决现有技术中的问题。

为实现上述目的，本实用新型提供如下技术方案：一种抛光垫双面修整装置，包括操作台，所述操作台的上表面安装有固定架，所述固定架上设置有传动丝杆，所述传动丝杆的两端均通过轴承安装在固定架上且传动丝杆的一端通过联轴器连接在驱动电机的输出轴上，所述驱动电机安装在固定架上，所述传动丝杆螺纹连接有横向移动滑座，所述横向移动滑座的上端嵌在固定架上，所述横向移动滑座的下端连接有抛光垫双面修整机构，所述固定架的侧面还安装有抛光垫装夹机构，所述抛光垫装夹机构固定抛光垫；

所述抛光垫双面修整机构包括横移框架、支撑基座、双轴电机、第一上皮带轮、上传送皮带、第二上皮带轮、上修整盘、第一下皮带轮、下传送皮带、第二下皮带轮和下修整盘，所述横移框架连接在横向移动滑座上，所述横移框架通过支撑基座安装有双轴电机，所述双轴电机的双轴均通过花键分别安装有第一上皮带轮和第一下皮带轮，所述第一上皮带轮通过上传送皮带与第二上皮带轮连接，所述第二上皮带轮上安装有上修整盘，所述第一下皮带轮通过下传送皮带与第二下皮带轮连接，所述第二下皮带轮上安装有下修整盘；

所述抛光垫装夹机构包括装夹基座、螺柱、升降座、第一装夹板和第二装夹板，所述装夹基座安装在固定架的侧面，所述装夹基座上安装有螺柱，螺柱的上端安装有手柄，所述螺柱螺纹连接有升降座，所述升降座嵌在固定架的侧面上，所述升降座上连接有第一装夹板和第二装夹板，所述第一装夹板和第二装夹板对称分布。

优选的，所述固定架的内侧端面开设有供横向移动滑座移动的条形导向槽，所述横向移动滑座与条形导向槽适配。

优选的，所述上修整盘和下修整盘分别分布在抛光垫的上方和下方且上修整盘和下修整盘均紧贴抛光垫。

优选的，所述上修整盘和下修整盘均通过双轴电机驱动在抛光垫上旋转。

优选的，所述上修整盘和下修整盘均通过驱动电机带动传动丝杆旋转而移动。

与现有技术相比，本实用新型的有益效果如下：

本实用新型的抛光垫双面修整装置，通过第一装夹板和第二装夹板将抛光垫固定在装夹基座上，可为抛光垫修整工作提供充分的保障，双轴电机带动第一上皮带轮和第一下皮带轮旋转使上修整盘和下修整盘也随之旋转，通过旋转的上修整盘和下修整盘可对抛光垫的上下两面同时进行修整，驱动电机带动传动丝杆旋转使横向移动滑座、上修整盘和下修整盘随之移动，通过旋转且横向移动的上修整盘和下修整盘可对抛光垫进行充分的修整，提高抛光垫的修整效率。