[实用新型]一种软接触面外电极光场耦合测量装置有效
| 申请号： | 202120691409.8 | 申请日： | 2021-04-06 |
| 公开（公告）号： | CN215263151U | 公开（公告）日： | 2021-12-21 |
| 发明（设计）人： | 刘衍朋;任浩然;林繁荣 | 申请（专利权）人： | 南京航空航天大学 |
| 主分类号： | G01N21/84 | 分类号： | G01N21/84;G01N21/01;G01B11/16 |
| 代理公司： | 南京经纬专利商标代理有限公司 32200 | 代理人： | 施昊 |
| 地址： | 210016 江*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 接触面 外电 极光 耦合 测量 装置 | ||
1.一种软接触面外电极光场耦合测量装置，其特征在于，包括微量进样器(1)、第一光学显微镜(5)、第二光学显微镜(8)、激光器(9)、探针(10)和样品台体，被测量的样品(3)放置在镀有金膜(4)的硅片(7)上，所述硅片(7)放置在所述样品台体上，所述样品(3)与金膜(4)接触；所述样品台体包括样品台(11)和位移台(12)，所述第一光学显微镜(5)设于样品台(11)一侧，所述第二光学显微镜(8)设于样品台(11)的另一侧；所述激光器(9)设于第二光学显微镜(8)的一侧，所述探针(10)通过导线分别与电源、金膜(4)连接，所述微量进样器(1)一端通过导线与电源连接，另一端通过预先制备的面外电极与样品(3)连接。
2.根据权利要求1所述的软接触面外电极光场耦合测量装置，其特征在于，所述样品台(11)和位移台(12)采用连接件连接，所述位移台(12)能分别在X轴、Y轴和Z轴方向移动。
3.根据权利要求2所述的软接触面外电极光场耦合测量装置，其特征在于，所述位移台(12)设于光学平台上，通过连接件与光学平台连接。
4.根据权利要求1所述的软接触面外电极光场耦合测量装置，其特征在于，所述第一光学显微镜(5)设于第一显微镜支架(6)上，能观察面外电极的制备过程，所述第二光学显微镜(8)设于显微镜支架(14)上，通过调整角度能聚焦于面外电极在样品台(11)上的投影。
5.根据权利要求1所述的软接触面外电极光场耦合测量装置，其特征在于，所述激光器(9)通过连接件与激光器支架(13)连接，所述激光器支架(13)通过连接件与光学平台连接。
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