[实用新型]一种超大尺寸ITO素坯吊装转移装置

说明书

本实用新型公开了一种超大尺寸ITO素坯吊装转移装置，包括与ITO素坯尺寸相适配的真空海绵吸盘，真空海绵吸盘面向ITO素坯的一面设置有海绵；真空海绵吸盘的四角均设置有用于实时监测反馈四个角点距托板或承烧板距离的激光测距装置；真空海绵吸盘背向ITO素坯一面的四角分别通过固定的柔性钢丝绳连接有用于吊装转移ITO素坯的起吊电机；起吊电机的受控端连接有用于保证真空海绵吸盘平行于ITO素坯和承烧台的PLC控制器，PLC控制器的输入端连接激光测距装置的输出端。本实用新型不但结构简单、使用方便、自动化程度高，可大大提高ITO素坯吊装转移的效率，而且在吊装转移的过程中可对ITO素坯形成有效的保护和避免因局部点线接触对ITO素坯造成破坏。

技术领域

本实用新型涉及ITO素坯技术领域，具体涉及一种可用于超大尺寸ITO素坯吊装转移的装置。

背景技术

ITO(氧化铟锡)半导体薄膜具有优异的电学和光学性能，被广泛的应用于光电子领域，如液晶显示器(LCD)、高触摸屏(Touch Panel)、等离子管显示器(PDP)等产品，还有太阳能电池和功能性玻璃等产业，由此带动了ITO靶材的市场需求。

铟是稀有金属，价格昂贵，ITO粉是一种氧化物粉料，属于硬脆材料。由于对纯度及成品致密度的高要求，ITO素坯成型过程中只能加入少量的粘结剂，所以ITO素坯强度较低，在吊装转移的过程中很容易碎裂，尤其是1.5m以上的超大尺寸素坯。素坯的碎裂对昂贵的原料造成极大的浪费，增加了生产成本。因此，如何降低ITO素坯在吊装转移过程中的破损率，是现阶段本技术人员亟需解决的问题。

实用新型内容

本实用新型需要解决的技术问题是提供一种超大尺寸ITO素坯吊装转移装置，可极大程度降低ITO素坯在吊装转移过程中的破损率。

为解决上述技术问题，本实用新型所采取的技术方案如下。

一种超大尺寸ITO素坯吊装转移装置，包括与ITO素坯尺寸相适配、用于吸取ITO素坯的真空海绵吸盘，真空海绵吸盘面向ITO素坯的一面设置有用于对ITO素坯形成有效保护的海绵；所述真空海绵吸盘的四角均设置有用于实时监测反馈四个角点距托板或承烧板距离的激光测距装置；所述真空海绵吸盘背向ITO素坯一面的四角分别通过固定的柔性钢丝绳连接有用于吊装转移ITO素坯的起吊电机；所述起吊电机的受控端连接有用于保证真空海绵吸盘平行于ITO素坯和承烧台的PLC控制器，PLC控制器的输入端连接激光测距装置的输出端。

优选的，所述真空海绵吸盘上设置有与真空海绵吸盘内腔连通并用于提供负压的真空发生器和用于检测真空海绵吸盘内负压值的负压表，真空发生器的受控端连接PLC控制器的输出端，负压表的输出端连接PLC控制器的输入端。

优选的，所述激光测距装置位于同一水平面上。

由于采用了以上技术方案，本实用新型所取得技术进步如下。

本实用新型不但结构简单和使用方便，而且自动化程度高，大大提高了ITO素坯吊装转移的效率；通过设置的真空海绵吸盘对ITO素坯进行吸附，可对ITO素坯在被吸附的过程中形成有效的保护；通过设置的激光测距装置和与真空海绵吸盘通过柔性钢丝绳连接的起吊电机，可保证ITO素坯在离开托板和放至到承烧台上时是整体面接触，从而避免了因局部点线接触对ITO素坯造成破坏。

附图说明

图1为本实用新型的结构示意图；

图2为本实用新型的激光测距装置安装位置示意图。

其中：1.真空海绵吸盘、11.海绵、12.真空发生器、2.激光测距装置、3.柔性钢丝绳、4.起吊电机。

具体实施方式

下面将结合附图和具体实施方式对本实用新型进行进一步详细说明。