[实用新型]一种晶片抛光用多层抛光垫

说明书

本实用新型公开了一种晶片抛光用多层抛光垫，包括基础圆板、护圈、吸灰层、抛光层和隔离网，基础圆板、吸灰层和隔离网均位于护圈的内侧，吸灰层的一面侧壁通过粘合剂复合在基础圆板上，吸灰层的另一面侧壁通过粘合剂连接隔离网，隔离网的外表面复合有均匀分布的抛光层，吸灰层、抛光层和隔离网均设有两组，这样多层抛光垫可以双面使用，在一定成程度上减少的原材料的消耗，吸灰层可以承受小规模的形变，来进行灰尘的收集，吸灰层的厚度值较大来保证吸灰量，减少整个抛光垫更换的次数，吸灰层通过隔离网连接抛光层，隔离网和环槽均与护圈的内壁接触连接，环槽安装后起到一定的限位作用，保证隔离网的竖直运动。

技术领域

本实用新型涉及抛光垫技术领域，具体为一种晶片抛光用多层抛光垫。

背景技术

抛光垫又称抛光皮，抛光布，抛光片，化学机械抛光中决定表面质量的重要辅料。在液晶产品生产线上常用到抛光垫进行外表面抛光，不仅于此在在一些晶片上也需要进行抛光，晶片抛光设备通常采用横竖轴向抛光，抛光产生的细小废屑不易排走，容易降低显示屏表面的抛光效果，所以需要一种具备已经吸灰能力的抛光垫，同时现有技术中抛光垫更换次数较多，过多的抛光垫更换次数可能带来的外部污染，同时还需保证抛光垫内部稳定，保证抛光加工效果。

实用新型内容

本实用新型的目的在于提供一种晶片抛光用多层抛光垫，具备可双面使用来减少更换次数同时减少原材料损耗，环槽安装保证隔离网稳定的优点，可以解决现有技术中的问题。

为实现上述目的，本实用新型提供如下技术方案：

一种晶片抛光用多层抛光垫，包括基础圆板、护圈、吸灰层、抛光层和隔离网，所述基础圆板、吸灰层和隔离网均位于护圈的内侧，吸灰层的一面侧壁通过粘合剂复合在基础圆板上，吸灰层的另一面侧壁通过粘合剂连接隔离网，隔离网的外表面复合有均匀分布的抛光层。

优选的，所述吸灰层、抛光层和隔离网均关于基础圆板对称分布。

优选的，所述隔离网上开设有均匀分布的漏灰孔，隔离网的边缘底边处设有环槽，隔离网和环槽均与护圈的内壁接触连接。

优选的，所述护圈与基础圆板的外边缘固定，护圈的内壁与吸灰层接触。

优选的，所述吸灰层呈蜂窝状，吸灰层的厚度值大于基础圆板的厚度值。

与现有技术相比，本实用新型的有益效果如下：

本晶片抛光用多层抛光垫，吸灰层、抛光层和隔离网均设有两组，两组关于基础圆板对称，这样多层抛光垫可以双面使用，在一定成程度上减少的原材料的消耗，呈蜂窝状的吸灰层有很好的的吸灰效果，吸灰层可以承受小规模的形变，来进行灰尘的收集，吸灰层的厚度值较大来保证吸灰量，减少整个抛光垫更换的次数，吸灰层通过隔离网连接抛光层，隔离网和环槽均与护圈的内壁接触连接，环槽安装后起到一定的限位作用，保证隔离网的竖直运动。

附图说明

图1为本实用新型的整体结构剖视示意图；

图2为本实用新型的整体结构俯视示意图；

图3为本实用新型的局部结构放大示意图；

图4为本实用新型的A处放大示意图。

图中：1、基础圆板；2、护圈；3、吸灰层；4、抛光层；5、隔离网；6、环槽。

具体实施方式

下面将结合本实用新型实施例中的附图，对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本实用新型一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本实用新型中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本实用新型保护的范围。