[实用新型]一种磁控溅射双面镀膜生产线

权利要求书

1.一种磁控溅射双面镀膜生产线，包括磁控溅射设备（1）；其特征是还包括安装在磁控溅射设备（1）两侧的供料装置（2）和往复装置（3）；所述供料装置（2）包含自动翻转机构（4）以及处于磁控溅射设备（1）两侧的输送机构（5）；所述输送机构（5）包含输送机架（51）、安装在输送机架（51）上的若干带座轴承（52）以及活动安装在带座轴承（52）上的传动杆（53），所述传动杆（53）一侧还安装有齿轮（54），所述齿轮（54）上连接有链条（55）；所述输送机架（51）上还安装有输送电机（56），所述输送电机（56）与齿轮（54）通过链条（55）传动连接；所述磁控溅射设备（1）一侧的输送机构（5）与往复装置（3）连接，另一侧的输送机构（5）与供料装置（2）连接；所述输送机架（51）上还安装有感应器（6）；所述往复装置（3）包含升降机构（31）和往复输送机构（32）；所述升降机构（31）包含升降机架（311）、安装在升降机架（311）上的升降气缸（312）以及滑动安装在升降机架（311）上且与升降气缸（312）连接的升降架（313）；所述升降机架（311）上设有若干导向槽（314），所述升降架（313）上设有与导向槽（314）相适配的导向块（315）；所述自动翻转机构（4）包含机架（41）、安装在机架（41）上的固定架（42）、安装在固定架（42）上的磁材固定板（43）、安装在机架（41）上且与固定架（42）传动连接的动力机构（7）、安装在固定架（42）上的夹紧机构（8）以及安装在机架（41）上且与动力机构（7）和夹紧机构（8）通过线路连接的PLC控制箱（9）。

2.根据权利要求1所述的一种磁控溅射双面镀膜生产线，其特征在于：所述往复输送机构（32）包含往复底架（321）；所述往复底架（321）和升降架（313）上均设有若干带座轴承（52），所述带座轴承（52）上活动安装有传动杆（53），传动杆（53）一端安装有齿轮（54），齿轮（54）上连接有链条（55），所述往复底架（321）上安装有与链条（55）传动连接的往复电机（322），升降架（313）上安装有与升降架（313）上链条（55）传动连接的升降电机（316）；所述升降架（313）和往复底架（321）上均设有感应器（6），所述升降架（313）上还设有行程开关（317）。

3.根据权利要求1所述的一种磁控溅射双面镀膜生产线，其特征在于：所述动力机构（7）包含安装在机架（41）上的电机（71）以及与电机（71）传动连接的减速机（72）；所述机架（41）两侧还设有轴承固定座（49），所述固定架（42）两侧设有固定杆（44），所述固定架（42）通过固定杆（44）和轴承固定座（49）的配合活动安装在机架（41）上，其中一侧的固定杆（44）与减速机（72）传动连接；所述固定架（42）上还设有若干支撑块（45）；所述夹紧机构（8）包含安装在固定架（42）上的若干组夹紧气缸（81），所述夹紧气缸（81）包含相反设置的上气缸（82）和下气缸（83）；所述上气缸（82）和下气缸（83）上分别设有上拉块（84）和下拉块（85）；所述上拉块（84）和下拉块（85）之间活动安装有两块磁材固定板（43）；所述磁材固定板（43）两侧还安装有挡块（46）。

4.根据权利要求3所述的一种磁控溅射双面镀膜生产线，其特征在于：所述机架（41）上还设有若干感应器（6）和缓冲块（47），所述固定架（42）上设有与缓冲块（47）相对应的定位块（48）。