[实用新型]一种金刚线单线晶棒截断机有效
申请号: | 202120452262.7 | 申请日: | 2021-03-02 |
公开(公告)号: | CN215589648U | 公开(公告)日: | 2022-01-21 |
发明(设计)人: | 万关良 | 申请(专利权)人: | 永清县良晶半导体设备有限公司 |
主分类号: | B28D5/04 | 分类号: | B28D5/04;B28D7/00;B28D7/02;B01D46/10;B01D46/00 |
代理公司: | 北京圣州专利代理事务所(普通合伙) 11818 | 代理人: | 王振佳 |
地址: | 065600 河北省廊*** | 国省代码: | 河北;13 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 金刚 单线 截断 | ||
本实用新型公开了一种金刚线单线晶棒截断机,包括机体,以及设于机体上的龙门架、背板、导轮组、钢线本体,龙门架的上端设有横板,背板上设有吸尘罩,吸尘罩的上端连接有分吸尘管,横板的上方设有主吸尘管,主吸尘管与分吸尘管连接,横板上设有底座、落尘口,底座上装设有风机,风机的左端设有风管,风管内装设有挡尘网,主吸尘管的右下端管壁上开设有开口、转轴,转轴上转动有活动板,横板的下端装设有储尘盒,风管的左下端设有侧板,侧板上设有卡销。可针对每组切割单元的钢线本体工作部位进行针对同时性吸尘,提高了对每组切割单元的钢线本体工作部位的吸尘质量,提高了对挡尘网的滤孔内附着的晶棒切割粉尘的清理储存效率。
技术领域
本实用新型属于晶棒截断技术领域,具体为一种金刚线单线晶棒截断机。
背景技术
生产单晶硅的方法通常是用直拉法或悬浮区熔法从熔体中生长出棒状单晶硅,单晶硅的截面为圆形,为了方便满足生产过程中硅片的长度尺寸,需要按照客户要求对成品晶棒进行截断,就需要使用到晶棒截断机。
在公告号CN207267301U中公开了一种用于全自动晶棒单线截断机的进刀装置,包括龙门架、竖直丝杆组件、竖直导轨组件、进刀单元背板和导轮组件,龙门架还安装有两个收放线单元组件和两个排线组件,收放线单元组件中的一个作为缠绕金刚线的起点,另一个作为缠绕金刚线的终点,收放线单元组件和排线组件分别对称的设置在龙门架的两个立杆的侧面上,且收放线单元组件和排线组件是分开的,龙门架的两个立杆的侧面还分别对称设有中主轴导轮组件,中主轴导轮组件位于排线组件的上方
上述全自动晶棒单线截断机具体使用时,金刚线初始时均匀缠绕在龙门架左侧的收放线单元组件上面,然后从收放线单元组件出来,经过同侧的排线组件、下过渡导轮组件、张力组件、上过渡导轮组件、中主轴导轮组件的线槽后进入进刀单元背板上面的导轮组件的线槽,依次经过进刀单元背板上面的个导轮组件后,进入龙门架右侧的中主轴导轮组件的线槽,再经过右侧的上过渡导轮组件、张力组件、下过渡导轮组件、排线组件上面的线槽后,均匀绕在右侧的收放线单元组件上面,切割时,随着收放线单元组件的支撑轴组件的转动,带动然在其上的金刚线的高速运动,竖直丝杆组件转动,带动进刀单元背板及安装在上面的个导轮组件向下运动,进刀单元背板下面的个切割导轮带动金刚线向下运动,金刚线逐渐与并排放置的根单晶硅棒接触,高速运动的金刚线与单机硅棒产生摩擦对单机硅棒进行切割,随着切割导轮向下运动,金刚线向下进刀直到完成对单机硅棒的切割。
可是,上述三组切割单元在通过金刚线单线向下切割时,由于是多组同时进行晶棒切割,会产生大量的晶棒切割粉尘,并不能够针对每组切割单元的钢线本体部位进行针对同时性吸尘,对每组切割单元的钢线本体部位的吸尘质量较差,另外,对挡尘网的滤孔内附着的晶棒切割粉尘的清理储存效率较低。
实用新型内容
本实用新型的目的在于提供一种金刚线单线晶棒截断机,以解决现有技术中不能够针对每组切割单元的钢线本体部位进行针对同时性吸尘、对挡尘网的滤孔内附着的晶棒切割粉尘的清理储存效率较低的问题。
为实现上述目的,本实用新型提供如下技术方案:一种金刚线单线晶棒截断机,包括机体,以及设于机体上的龙门架、背板、导轮组、钢线本体,所述龙门架的上端设有横板,所述背板上设有吸尘罩,所述吸尘罩的上端连接有分吸尘管,所述横板的上方设有主吸尘管,所述主吸尘管与分吸尘管连接,所述横板上设有底座、落尘口,所述底座上装设有风机,所述风机的左端设有风管,所述风管内装设有挡尘网,挡尘网可以将晶棒切割粉尘进行阻挡过滤,所述主吸尘管的右下端管壁上开设有开口、转轴,所述转轴上转动有活动板,所述横板的下端装设有储尘盒,所述风管的左下端设有侧板,所述侧板上设有卡销,本新型所使用到的结构件,除特殊说明,均采用四十五号钢材质制成,强度高,易焊接加工。
优选的,所述活动板上设有密封板,密封板设置于活动板的外壁面,密封板为聚氨酯橡胶垫,具有弹性,耐磨,实现所需的密封效果。
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